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DRX-95型下降爐主要技術參數(shù)與性能描述

主要技術參數(shù)：

性能描述:

1， 觸摸屏+PLC控制;科學合理、穩(wěn)定可靠的工藝熱場是生長高質量晶體材料的關鍵條件；

2， 3段加熱分別有歐陸控溫儀控制；

3， 溫度/下降速度/位移等多種工藝參數(shù)/工藝曲線存儲；

4， 溫度梯度設置范圍:橫向梯度  ≤0.5℃/cm

縱向溫度梯度:5℃--30℃/cm可設置

5， 密閉環(huán)境下的坩堝下降設備——采用密閉腔體(真空或氣氛條件)多坩堝下降法晶體生長技術，兼顧了密閉環(huán)境(真空或氣氛條件)環(huán)境和坩堝下降法的優(yōu)點，有利于穩(wěn)定熱場,確保生長出高質量的晶體，防止原料氧化和水解對性能的危害，同時也可防止組分在高溫下的揮發(fā)和泄露，避免環(huán)境污染；

6， 多坩堝公轉自轉技術——保證每只坩堝受熱均勻，溫度一致，晶體質量均衡；

7， 節(jié)能環(huán)?！訜崞鞑捎枚喽问郊訜岱绞剑筛鶕?jù)不同工藝要求精確控制各段加熱器，在消耗*低電能的情況下獲得理想工藝條件下；同時，采用密閉的工作腔，不但有利于晶體生長工藝參數(shù)的精準獲得，有利于工藝氣體的有序流動，更有利于廢氣的集中排放和處理。

8， 爐底與坩堝運動系統(tǒng)同步升降,在保證坩堝位置精度、運動精度的同時,方便在設備底部裝卸料。

9， 爐蓋可以升起旋轉開，便于安裝、調整熱場。