1200-PE60 PECVD系統(tǒng)

PECVD系統(tǒng)就是為了使傳統(tǒng)的化學氣象沉積（CVD）反應溫度降低，在普通CVD裝置的前端加入RF射頻感應裝置將反應氣體電離，形成等離子體，利用等離子體的活性來促進反應，所以這個系統(tǒng)稱為增強型化學氣相沉積系統(tǒng)（PECVD）。    該型號PECVD綜合了國內大多數(shù)廠家的管式PECVD系統(tǒng)的優(yōu)點，在PECVD前端加入了氣體預熱區(qū)，實驗證明此結構沉積速度快，成膜質量好，針孔較少，不易龜裂。