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涂層設(shè)備磁控濺射源

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星弧涂層新材料科技（蘇州）股份有限公司

江蘇

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

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品牌：

星弧涂層

型號(hào)：

涂層設(shè)備磁控濺射源

關(guān)注度：

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產(chǎn)品介紹

星弧涂層所提供的磁控濺射濺射陰**有平衡或非平衡的磁場設(shè)計(jì)，靶材的離化率和利用率優(yōu)異，多跑道的設(shè)計(jì)可用于大批量工業(yè)生產(chǎn)，同時(shí)使得設(shè)備運(yùn)營成本降低20%以上。
磁控濺射陰極是標(biāo)準(zhǔn)系列產(chǎn)品，星弧也可根據(jù)客戶的具體需求而客制化設(shè)計(jì)和制造。

技術(shù)特點(diǎn)：

● 陰極采用緊湊的矩形平面設(shè)計(jì)，磁場可沿單軸或雙軸運(yùn)動(dòng)

● 在單個(gè)圓柱形靶材上*多有三條等離子軌道

● 高達(dá)50%的靶材利用率

● 配備星弧電源：DC，RF和中頻AC

● 法蘭連接使得安裝和維修更便捷

典型應(yīng)用：

● 切削工具，模具具的硬質(zhì)涂層

● 玻璃，磁盤連續(xù)涂層

● 研發(fā)用薄膜沉積

產(chǎn)品咨詢

涂層設(shè)備磁控濺射源

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