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PECVD

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直接聯(lián)系

廣東鴻浩半導體設(shè)備有限公司

廣東

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價:

面議

品牌:

鴻浩半導體

型號:

PECVD

關(guān)注度:

490

產(chǎn)品介紹

核心技術(shù):

多站式(Multi-Stantion)設(shè)計,系統(tǒng)具有優(yōu)異的膜厚均勻性;

模組化機臺設(shè)計能夠針對客戶的需求做設(shè)計;

射頻功率設(shè)計,使反應物能在低溫的狀態(tài)下達到高速率的沉積,進而提高產(chǎn)能;


先進性:

具有多站式(Multi-Stantion)設(shè)計,能夠?qū)崿F(xiàn)高重復性,使薄膜沉積的更加均勻;

優(yōu)化RF功率,使薄膜應力及反射率達到**數(shù)值


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