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熱式氣體流量控制器

MFC330-05E

直接聯(lián)系

蘇州愛拓利電子設(shè)備有限公司

蘇州

產(chǎn)品規(guī)格型號

參考報價：

1萬元以下

品牌：

愛拓利

型號：

MFC330-05E

關(guān)注度：

204

樣本：

【下載】

范圍（量程或細(xì)度）：

0-2，10，20，50，100，300，500 sccm 0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm

產(chǎn)品介紹

MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計/控制器，其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

被測氣體進(jìn)入后，先通過傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實(shí)時測量氣體流量、高精度比例閥動態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu)，即使環(huán)境溫度變化或進(jìn)出口氣壓波動，MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。

產(chǎn)品特點(diǎn)

精準(zhǔn)質(zhì)量流量測量/控制

快速響應(yīng)、高重復(fù)性

不受溫度和壓力的影響

工作壓差范圍大：0-1MPa

低壓損可選

全金屬比例閥可選

集成顯示器可選

經(jīng)濟(jì)有效的解決方案

獲取更多信息，請訪蘇州愛拓利電子設(shè)備有限公司網(wǎng)站

產(chǎn)品咨詢

熱式氣體流量控制器

MFC330-05E

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