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韓國SEC SNE-3000MS基本型臺式掃描電鏡

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上海德心貿(mào)易有限公司

韓國

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產(chǎn)品介紹

SNE-3000MS型臺式掃描電鏡是韓國SEC公司研制的基本型Mini-SEM，非常適合于主要用SEM在1萬倍放大倍率下進(jìn)行表面觀察的用戶。其分辨率為15nm，**放大倍數(shù)為6萬倍；可通過U.I界面中鼠標(biāo)控制簡單、方便地操作3軸載臺移動；能使用多種掃描模式與測試工具獲得多種分析結(jié)果。

技術(shù)參數(shù)：

電子光學(xué)系統(tǒng)	分辨率	15nm（30kV，二次電子成像）
	放大倍率	20x~60，000x
	加速電壓	1~30kV (1/5/10/15/20/30)
	探測器	二次電子探測器（SE）
	電子槍	預(yù)對中鎢燈絲
載臺系統(tǒng)	載臺運(yùn)動	3軸系統(tǒng) (X， Y， R) X， Y-軸: 40mm / R-軸: 360° * 影像偏移 : ±150μm * Tilt-軸 : 0~45°（選配）
載臺系統(tǒng)	**樣品尺寸	70mm（Φ）*30mm（H）
成像系統(tǒng)	自動功能	自動啟動，自動聚焦，自動消像散，自動調(diào)節(jié)對比度與亮度
成像系統(tǒng)	圖像格式	BMP， JPEG， PNG， TIFF
真空系統(tǒng)	真空模式	高真空
真空系統(tǒng)	真空泵	旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵/渦輪式分子泵（全自動）
尺寸與重量	主機(jī)	390(W)x380(D)x560(H)mm， 83kg
	控制單元	390(W)x325(D)x560(H)mm， 37kg
	旋轉(zhuǎn)泵	400(W)x160(D)x340(H)mm， 24kg

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韓國SEC SNE-3000MS基本型臺式掃描電鏡

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