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掃描電子顯微鏡FlexSEM 1000

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似空科學(xué)儀器（上海）有限公司

日本

產(chǎn)品規(guī)格型號

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718

產(chǎn)品介紹

特色

規(guī)格

項目		內(nèi)容
分解能*3		4.0 nm @ 20 kV （SE：高真空模式） 15.0 nm @ 1 kV （SE：高真空模式） 5.0 nm @ 20 kV （BSE：低真空模式）
加速電壓		0.3 kV ～ 20 kV
放大倍率		6× ～ 300，000× （底片倍率） 16× ～ 800，000× （顯示倍率）
低真空模式		真空范圍：6 ～ 100 Pa
電子槍		預(yù)對中鎢燈絲
樣品臺		3-軸自動馬達(dá)臺 X：0 ～ 40 mm， Y：0 ～ 50 mm， Z：5 ～ 15 mm R：360°， T：-15° ～＋90°
**樣品尺寸		直徑80 mm
**樣品高度		40 mm
尺寸		主機：450（W） x 640（D） x 670（H） mm 供電單元：450（W） x 640（D） x 450（H） mm
探測器選配		高靈敏度低真空二次電子探測器（UVD）能量分散型X線探測器（EDS）

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