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透射電子顯微鏡H-9500

直接聯(lián)系

似空科學(xué)儀器(上海)有限公司

日本

產(chǎn)品規(guī)格型號
參考報價:

面議

關(guān)注度:

369

產(chǎn)品介紹

原子分辨率300 kV透射電子顯微鏡

在精細加工技術(shù)已進入到亞納米級水平的半導(dǎo)體,先進材料的研發(fā)領(lǐng)域,原子分辨率電子顯微鏡正在成為日益重要的,不可或缺的工具。

特色

用戶友好型的操作系統(tǒng)

  • 和Windows®兼容的圖形用戶界面設(shè)計

  • 快速的樣品分析,1分鐘換樣,5分鐘內(nèi)升高壓至(300 kV)

  • 高穩(wěn)定性,高分辨率透射電子顯微鏡

高穩(wěn)定性,高分辨率透射電子顯微鏡

  • 點分辨率為0.18 nm,晶格分辨率為0.1 nm

  • 穩(wěn)定可靠的5軸優(yōu)中心測角臺

  • 性能優(yōu)異,可靠性高

性能優(yōu)異,可靠性高

  • 得到市場驗證的10級加速器電子槍設(shè)計

  • 阻抗式高壓電纜設(shè)計

  • 高檔可選附件

高檔可選附件

  • 通用樣品桿,在日立公司的TEM, FIB 和 STEM系統(tǒng)均可使用

  • 可為原子分辨率的動態(tài)研究提供加熱,冷卻和氣體注入等多種樣品桿

備注:FPD(平板顯示器)上的圖像為模擬圖像。

規(guī)格
項目說明
分辨率0.10nm(晶格分辨率)

0.18nm(點分辨率)

加速電壓300kV、200kV*1、100kV*1
放大倍率連續(xù)放大模式1,000~1,500,000×
選區(qū)模式4,000~500,000×
低倍模式200~500×
電子槍燈絲LaB6(六硼化鑭燈絲,直流加熱)
燈絲交換自動升降式電子槍
高壓電纜阻抗電纜
照射系統(tǒng)透鏡四級透鏡
聚光鏡光闌4孔可變
探針尺寸微米束模式:0.05 - 0.2 μm(4級)

納米束模式:1 - 10 nm(4級)

電子束傾斜±3°
成像系統(tǒng)透鏡五級透鏡
聚焦圖像搖擺調(diào)整

利用像散監(jiān)視器進行正焦補償

聚焦優(yōu)化

物鏡光闌4孔可變光闌
選區(qū)光闌4孔可變光闌
電子衍射選區(qū)電子衍射

納米探針電子衍射

會聚束電子衍射

相機長度250 - 3,000 mm
樣品室樣品臺5軸優(yōu)中心海帕測角臺
樣品尺寸3mmΦ
樣品位置追蹤X/Y = ±1mm, Z = ±0.3 mm

通過CPU控制馬達驅(qū)動

樣品位置顯示自動驅(qū)動,自動跟蹤
樣品傾斜α = ±15°, β = ±15°

(日立雙傾樣品臺*2)

防污染冷阱
烘烤功能中溫烘烤功能
觀察室熒光屏主屏:110 mmΦ

聚焦屏:30 mmΦ

目鏡7.5×
照相室區(qū)域選擇整張照相/半張曝光
膠片25張(2套膠片盒)
圖形用戶界面操作系統(tǒng):Windows XP®
顯示器19英寸顯示器
功能數(shù)據(jù)庫,測量,圖像處理
數(shù)碼CCD 相機*3相機耦合透鏡耦合
有效像素1,024 × 1,024 像素
A/D 分辨率12位
真空系統(tǒng)電子槍離子泵:60 L/s
鏡筒渦輪分子泵:260 L/s
觀察室/照相室擴散泵:280 L/s

前級泵:135 L/min × 3臺

  • *1

  • :放大倍率校準為可選項

  • *2

  • :可選件

  • *3

  • :本規(guī)格適用于可選的1,024 × 1,024像素的數(shù)碼CCD相機

產(chǎn)品咨詢

透射電子顯微鏡H-9500

似空科學(xué)儀器(上海)有限公司

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透射電子顯微鏡H-9500 - 369
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