&

XY軸壓電平臺

直接聯(lián)系

科藝儀器有限公司

法國

產(chǎn)品規(guī)格型號

參考報(bào)價(jià)：

面議

關(guān)注度：

491

產(chǎn)品介紹

壓電平臺XY200M沿X和Y軸的行程為200 μm，**可承受3kg的負(fù)載。應(yīng)用領(lǐng)域包括原子力或掃描隧道顯微鏡和掩膜定位等等。這種平臺基于APA200M設(shè)計(jì)，具有很高的硬度，可以配備精度高達(dá)10nm的應(yīng)變計(jì)或渦流傳感器。平臺沿X，Y和Z軸的轉(zhuǎn)動(dòng)非常小。移動(dòng)外框可根據(jù)要求定制。緊湊型XY25XS平臺非常適合用于光纖定位，微掃描等應(yīng)用。

參數(shù)	單位	XY25XS	XY200M
型號		V-XYXS25	V-XYM200
備注		-	-
傳感器		SG	SG，ECS
主動(dòng)軸		TX，TY	TX，TY
**空載位移[Tx，Ty]	um	25	200
Z方向**面外位移	um	0.50	1.00
Z方向的**轉(zhuǎn)動(dòng)	urad	50	240
XY方向的**轉(zhuǎn)動(dòng)	urad	10	50
電壓范圍	V	-20…150	-20…150
硬度	N/um	2.50	0.59
高度(Z 軸)	mm	18.0	22.0
尺寸(X&Y 軸)	mm	50*50	100*100
分辨率	nm	0.3	2.0
質(zhì)量	g	80	180
空載共振頻率(在致動(dòng)方向)	Hz	3000	580
響應(yīng)時(shí)間	ms	0.17	0.86
電容 (每個(gè)電氣接口)	uF	0.50	6.30
機(jī)械接口(有效負(fù)載)		1Ф17mm hole+4Ф1.8mm onФ20mm	3Ф2.7mm holes on Ⅱ38
機(jī)械接口 (框架)		4 Ф2.8mm holes on []45	4 Ф4.5mm holes on []84
電氣接口		2 RG178B/U同軸電纜	2 RG178B/U同軸電纜

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