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ZEISS ΣIGMA 電鏡為肖特基（Schottky）熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡。目前歐美地區(qū)比較推崇熱場(chǎng)發(fā)射電鏡，而日本較熱衷于冷場(chǎng)發(fā)射電鏡。

該場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡主要有如下特點(diǎn)：

1.探針電流較大，可達(dá)20nA（100nA可選），可容易進(jìn)行BSE、EDS、WDS、EBSD、CL等分析。而一般冷場(chǎng)發(fā)射探針電流達(dá)不到這個(gè)數(shù)量級(jí)，有些分析工作（如WDS、EBSD、CL等）在冷場(chǎng)電鏡上難以進(jìn)行。

2.平行束的電子光學(xué)系統(tǒng)：

ΣIGMA 系列熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡鏡筒系統(tǒng)電子光學(xué)設(shè)計(jì)新穎獨(dú)特，稱為GEMINI鏡筒。在光源與樣品之間，入射電子束不形成交叉點(diǎn)，這與其它掃描電鏡明顯不同。入射電子束無交叉點(diǎn)光學(xué)設(shè)計(jì)的作用在于：⑴降低入射電子束之間的庫侖統(tǒng)計(jì)相互作用（減少電子碰撞，降低色差）；⑵降低外部環(huán)境雜散磁場(chǎng)對(duì)入射電子束的影響。因此，GEMINI鏡筒設(shè)計(jì)確保了入射電子束的亮度及圖像分辨率。特別在低入射能量應(yīng)用時(shí)，上述作用尤為重要。

3.可擴(kuò)展性：標(biāo)配所有的接口，可以兼容市場(chǎng)上所有的電鏡相關(guān)附件，如：能譜儀、波譜儀、EBSD、CL、冷凍臺(tái)、拉伸臺(tái)、等離子清洗裝置等，后續(xù)升級(jí)沒有任何障礙。

4.電子束噪聲較小，<1%。

5.束流穩(wěn)定度高，優(yōu)于0.2%/h，適宜于長(zhǎng)時(shí)間的各種精確分析。

上述兩項(xiàng)指標(biāo)其它廠家均未給出。在理論上冷場(chǎng)發(fā)射要比熱場(chǎng)發(fā)射要差一個(gè)數(shù)量級(jí)。

6.所需的工作真空度（包括電子槍真空度和樣品室真空度）較低，對(duì)環(huán)境、樣品要求不高。而冷場(chǎng)發(fā)射電鏡的真空度比熱場(chǎng)要高2個(gè)數(shù)量級(jí)，真空系統(tǒng)復(fù)雜，如樣品不清潔、有揮發(fā)、放氣等情況，抽真空較困難。

7.采用動(dòng)態(tài)/靜態(tài)磁透鏡（雙子星座），沒有雜散磁場(chǎng)，可對(duì)鐵磁體樣品進(jìn)行高分辨率成像。（蔡司是行內(nèi)**可以承諾做磁性材料的電鏡品牌）

8.超大樣品室：樣品室尺寸達(dá)到365mm（內(nèi)直徑）×275mm（內(nèi)高度），五軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)全優(yōu)中心樣品臺(tái)，行內(nèi)**的五軸樣品臺(tái)移動(dòng)范圍：X = 125mm，Y = 125mm，Z = 50mm，T = 0 to 90°，R = 360° ，為使用提供了極大的方便。

9.抽屜式樣品室拉門，方便樣品更換及大樣品、形狀復(fù)雜樣品的觀察，**樣品直徑可達(dá)250mm以上，**樣品高度約為145mm。而冷場(chǎng)掃描電鏡由于要求的真空度較高，不宜破壞樣品室真空，一般用“樣品交換氣鎖”來更換樣品，操作麻煩，且進(jìn)出樣品的尺寸、形狀受限，一般樣品**直徑不超過100mm，**樣品高度約為26mm。

10.采用全自動(dòng)控制無油式真空系統(tǒng)，采用機(jī)械泵＋磁懸浮分子渦輪泵＋離子泵，無油污染。

11.獨(dú)特的環(huán)形In-lens二次電子探測(cè)器，探測(cè)效率高、圓周對(duì)稱。而其他廠家的In-lens探測(cè)器安裝在一側(cè)，且結(jié)構(gòu)復(fù)雜。

12.維護(hù)簡(jiǎn)便，且工作穩(wěn)定。冷場(chǎng)電鏡每8個(gè)小時(shí)都需要Flash(陰極還原)，且發(fā)射電流不穩(wěn)定，使用維護(hù)麻煩。而熱場(chǎng)電鏡無此麻煩。

13.末級(jí)光欄采用多孔光欄結(jié)構(gòu)，用電磁方式進(jìn)行更換和對(duì)中調(diào)整，操作方便。鏡筒上無需用戶調(diào)整的部件。

14.高景深：物鏡光欄放在燈絲下，景深行內(nèi)**。

15.多功能控制面板：方便進(jìn)行聚焦、消像散、電位移、放大倍率調(diào)整等。

16.可選配光電一體化模塊，實(shí)現(xiàn)與光學(xué)顯微鏡連用：實(shí)現(xiàn)低倍定位，拍照等功能。