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NMM-1目前立足的觀念允許利用Z軸作為觸覺探索方向，這意味著正好是一個高程測量將關(guān)聯(lián)到xy平面的每個點。這些測量值被稱為2.5D表面測量。NMM-1的良好的計量特性被用來校準(zhǔn)傳遞標(biāo)準(zhǔn)，例如階梯高度，單維和二維位移取代標(biāo)準(zhǔn)，平面度標(biāo)準(zhǔn)和粗糙度標(biāo)準(zhǔn)，在全世界的一些政府機構(gòu)。一些循環(huán)比較測量已經(jīng)演示了它的潛能。然而，垂直面既不能被發(fā)現(xiàn)也不能用2.5D輪廓度測量進行分析。問題也會出現(xiàn)在超過一定角度的陡峭的表面梯度，例如:鏡頭或沖壓模具的彎曲表面。為了滿足微型元件的高精度測量的所有需求，NMM-1通過增加3D功能進行升級。在很大程度上，這從本質(zhì)上意味著通過合并來自I++/DME規(guī)格的許多指令來對固件進行修改。開環(huán)掃描命令允許驅(qū)使探針傳感器接近并接觸被測量物體的各種選擇，已經(jīng)合并，并基于從傳感器上接收來的信號對掃描方向進行計算。單點測量的