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表面涂層綜合性能評價試驗機(jī)(MSE微粒噴漿沖蝕法)微粒噴漿沖蝕MSE方法
使用恒定的固體微粒對材料表面進(jìn)行沖蝕,材料磨損量隨表面強(qiáng)度而改變。MSE試驗機(jī)將磨損量的變化轉(zhuǎn)換成磨損率,來評估和對比各種材料表面強(qiáng)度。
適用范圍:涂層、鍍層、鍍膜
涂層強(qiáng)度 (可檢測多級涂層強(qiáng)度數(shù)值化)
復(fù)合涂層厚度(可分層檢測多涂層)
涂層間、涂層與基體結(jié)合力
通過對膜的檢測。評價鍍膜工藝性能
涂層均勻度
表面涂層綜合性能評價試驗機(jī)(MSE微粒噴漿沖蝕法)的特點(diǎn)
1、MSE是市場上采用全新方法評估涂層材料的試驗機(jī)。
2、MSE是市場上可以評估堅硬涂層的試驗機(jī),對堅硬涂層具有高分辨能力,可對多種堅硬涂層進(jìn)行評估,如TiN,DLC(類金剛石鍍膜),CBN(立方氮化硼)和金剛石等,填補(bǔ)了現(xiàn)在各種試驗機(jī)不能評估堅硬涂層的缺陷。
3、MSE也是可對多涂層進(jìn)行精確評估的試驗機(jī)。
4、MSE微粒碰撞產(chǎn)生的磨損是納米級的,可在不破壞基體材料的情況下,對薄膜涂層進(jìn)行評估。結(jié)合對碰撞微粒的精確控制,具有很好的重復(fù)性。
5、MSE評估分析時間短。漿體的高速噴射使得產(chǎn)生1um的磨損深度只需幾秒時間,Si晶片約3s,藍(lán)寶石約75s,TiN薄膜約350s,DLC約8000s。
產(chǎn)品應(yīng)用(所有具有表面涂層材料篩選、研究的應(yīng)用領(lǐng)域)
1、涂層和硬涂層材料的研發(fā)
● 切削工具和研磨工具的壽命預(yù)測,可與元素分析,劃痕測試等設(shè)備聯(lián)用。
● 硬涂層薄膜材料的研發(fā)。
● 堅硬新材料的研發(fā)領(lǐng)域,用于尖端技術(shù)(飛機(jī)或火箭)的堅硬材料和耐高溫材料等。
● 薄膜制造工藝研發(fā)領(lǐng)域,不同的生產(chǎn)工藝導(dǎo)致薄膜質(zhì)量差異,MSE使用磨損率對薄膜細(xì)微差異進(jìn)行評估。
● 燒結(jié)材料制造工藝研發(fā)領(lǐng)域,在試制階段及時進(jìn)行材料的物理和力學(xué)特性評估。
2、制造領(lǐng)域
● 制造設(shè)備質(zhì)量波動檢測
● 間接設(shè)備維護(hù),時常進(jìn)行產(chǎn)品檢驗對改進(jìn)和保持產(chǎn)品質(zhì)量非常重要的。
● 質(zhì)量保證
表面涂層綜合性能評價試驗機(jī)(MSE微粒噴漿沖蝕法)的示例
表面涂層綜合性能評價試驗機(jī)(MSE微粒噴漿沖蝕法)各種材料的摩損率等級
MSE測量的技術(shù)參數(shù)
MSE-S | MSE-A | MSE-B | |
基本規(guī)格 | |||
構(gòu)造 | 磨損處理系統(tǒng) | 磨損處理系統(tǒng) | 磨損處理系統(tǒng) |
- | 樣品清洗單元 | - | |
- | 自動測量系統(tǒng) | - | |
- | 數(shù)據(jù)處理系統(tǒng) | - | |
測試規(guī)格 | |||
樣品尺寸 | 30mm×t10mm | 30mm×t10mm | 30mm×t10mm |
磨損面積 | 1mm | 1mm | 2mm |
顆粒類型 | 平均直徑1.2μm(WA8000) | 平均直徑1.2μm(WA8000) | 平均直徑1.2μm—100μm |
漿體密度 | 3wt%(恒定) | 3wt%(恒定) | ** 5wt% |
漿體罐容量 | 1L | 1L | 1L |
噴射角度 | 90°(恒定) | 90°(恒定) | 60°~90°噴射過程中恒定 |
噴射分辨率 | 0.5g | 0.5g | 0.5g |
連續(xù)測量的準(zhǔn)確度 | ±8% | ±8% | ±8% |
測量部分參數(shù) | |||
方法 | - | 垂直掃描 干涉儀形貌測量 | - |
面積 | - | 1330×1760μm | - |
深度 | - | 20μm | - |
分辨率 | - | 20nm | - |
主體參數(shù) | |||
尺寸 | W700×d530×h610 | W1100×d500×h650 | W600×d550×h650 |
測量控制部分 | - | W550×d550×h580 | - |
屏幕 | - | W400×d200×h400 | - |
Utility | |||
電源 | 100v 0.8kva | 100v 1kva | 100v 0.8kva |
氣源 | 干燥空氣(0.55 mpa 以上) 15L/min (ANR 0.4kw 相當(dāng)) | 干燥空氣(0.55 mpa 以上) 15L/min (ANR 0.4kw 相當(dāng)) | 干燥空氣(0.55 mpa 以上) 15L/min (ANR 0.75kw 相當(dāng)) |
其他 | 空氣和水廢液 | 水源,空氣和水廢液 | 空氣和水廢液 |