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桌面單點(diǎn)測(cè)量

低成本的臺(tái)式壽命測(cè)量系統(tǒng)，可在不同的制備階段表征各種不同的硅樣品，沒(méi)有內(nèi)置的自動(dòng)化。可選配手動(dòng)z軸，用于厚度在156毫米以下的晶錠。結(jié)果可視化的標(biāo)準(zhǔn)軟件。 MDPspot包括一個(gè)額外的電阻率測(cè)量選項(xiàng)。電阻率測(cè)量?jī)H適用于硅，可用于沒(méi)有高度調(diào)整可能性的晶圓片，也可用于晶錠。須預(yù)定義這兩個(gè)選項(xiàng)之一。

特性

· 無(wú)接觸破壞的電子半導(dǎo)體特性μ-PCD測(cè)量選項(xiàng)外延片不可見(jiàn)的缺陷和檢測(cè)的靈敏度的可視化集成多達(dá)四個(gè)激光器適用于一個(gè)廣泛的注射水平獲取單一瞬態(tài)的原始數(shù)據(jù)以及用于特殊評(píng)估目的的圖

優(yōu)勢(shì)

· 用于不同制備階段，從成體到*終器件，多晶硅或單晶硅單點(diǎn)測(cè)量載流子壽命的臺(tái)式裝置。

· 體積小，成本低，使用方便。擁有一個(gè)基本的軟件，結(jié)果可視化。適用于晶圓片到晶錠，易于高度調(diào)整。

技術(shù)參數(shù)

其它細(xì)節(jié)

· 允許單片調(diào)查不同種類的晶圓片有不同的菜單監(jiān)控材料、工藝質(zhì)量和穩(wěn)定性