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微量氣體分析儀GA-360E

直接聯(lián)系

HORIBA,堀場（中國）貿(mào)易有限公司過程與環(huán)境

日本

產(chǎn)品規(guī)格型號

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554

產(chǎn)品介紹

概要

它是可以對用于半導(dǎo)體工藝的混合氣體 (N2、O2、He、Ar、H2、Air) 中的微量不純物進行超高靈敏度、高精度 (*小檢測感度10ppb) 連續(xù)檢測的裝置。由于采用了交替流動調(diào)制方式，可以和零氣體不斷比較的同時進行檢測，所以沒有零點漂移，能夠獲得長期穩(wěn)定的檢測值。由于它通過19英寸RACK方式進行了集中，所以系統(tǒng)升級也很容易。*適于半導(dǎo)體氣體制造設(shè)備的質(zhì)量管理。

特征

1分析儀**可以搭載CO/CO2/CH4中的2種成分，2種成分可同時以數(shù)字形式顯示濃度。

采用了交替流動調(diào)制方式，沒有零點漂移，可以獲得長期穩(wěn)定的連續(xù)檢測值。

不需要進行光學(xué)調(diào)整，維護性得到了提高。

由于搭載有流量(壓力)異常、斷路器(電磁閥)、失火報警(GA-360E)、電源斷開的自我診斷功能，所以能夠迅速地在發(fā)生異常時采取措施。

規(guī)格

測量原理	GA-360E:交替流動調(diào)制方式非分散紅外線分析法
GA-360E	交替流動調(diào)制方式火焰電離檢驗方法
檢測對象氣體	GA-360E:CO/CO2/CH4內(nèi)**選取2種成分
檢測量程	GA-360E:0〜1/2/5/10ppm

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微量氣體分析儀GA-360E

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