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●滑閥式真空泵是一種油封式變?nèi)輽C(jī)械泵,是抽除特定密封容器中一般氣體或含有少量可凝性氣體（應(yīng)使用氣鎮(zhèn)裝置）的一種較為理想的真空獲得設(shè)備,可直接獲得低于1Pa的真空度，也可作為其它真空獲得設(shè)備的前級(jí)泵以獲得更高的真空度。由于該泵在工作過程中，滑閥與泵腔間始終保持一種無接觸式的滾動(dòng)運(yùn)動(dòng)，所以其具有耐臟、耐腐、耐用的特點(diǎn)。本泵的軸承采用油脂潤滑，與泵油隔開，因此可以用于抽除含少量粉塵的氣體。目前，該泵已廣泛應(yīng)用于冶金、化工、制藥、紡織、半導(dǎo)體、單晶硅、多晶硅、石油、食品及原子能等領(lǐng)域。