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FS-N 系列半導(dǎo)體氣動(dòng)泵

直接聯(lián)系

易威奇有限公司

廣東

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

參考報(bào)價(jià)：

面議

品牌：

易威奇

型號(hào)：

FS-N 系列半導(dǎo)體氣動(dòng)泵

關(guān)注度：

180

產(chǎn)品介紹

高速?zèng)_程

高速?zèng)_程 (FS-80N**達(dá)200 spm)，讓結(jié)構(gòu)緊湊、重量輕、成本低，可同時(shí)用于高流量及高壓力

工況。

無污染設(shè)計(jì)

過流端采用氟樹脂無污染構(gòu)造，使用獨(dú)有的軸封顯著降低顆粒的產(chǎn)生(已申請(qǐng)**)。

高流量及高吐出壓力

**吐出量高達(dá)0.7MPa，不僅滿足化學(xué)供藥過程中高流量及高吐出壓力的需求，同時(shí)適用于清洗

及CMP制程。

傳感器驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)

內(nèi)置式開關(guān)通過傳感器驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)打開/關(guān)閉電磁閥。因此，即使連接各種控制器，亦可以輕易控制

吐出量。

產(chǎn)品咨詢

FS-N 系列半導(dǎo)體氣動(dòng)泵

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