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Femto Science等離子清洗機(jī)表面處理設(shè)備CUTE

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北京燕京電子有限公司

韓國(guó)

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產(chǎn)品介紹

Femto Science 等離子清洗機(jī) 表面處理設(shè)備 CUTE

圖片

簡(jiǎn)介

CUTE系列等離子清洗機(jī)來(lái)自韓國(guó)FemtoScience公司，是一款無(wú)損傷的等離子體處理表面處理系統(tǒng)，其獨(dú)特的設(shè)計(jì)保證了高度穩(wěn)定和均勻輝光放電等離子體產(chǎn)生，可應(yīng)用于微流控、組織工程、石墨烯、2D材料等納米科學(xué)以及微電子領(lǐng)域，適用于諸多材料表面清潔、疏水性增強(qiáng)、層間粘附、刻蝕等操作，標(biāo)配一路自動(dòng)氣體流量計(jì)，可實(shí)現(xiàn)對(duì)工藝氣體的準(zhǔn)確控制。

CUTE系列等離子清洗機(jī)，其艙體采用鋁合金制作，堅(jiān)固耐用且抗腐蝕，其艙體自帶顯示屏，配合顯示屏下方的操作按鈕，使用簡(jiǎn)單，方便快捷。

規(guī)格參數(shù)

項(xiàng)目	參數(shù)
艙體材質(zhì)	鋁合金
艙體內(nèi)部尺寸	140mm x 200mm x 110mm
電源頻率	20~100kHz
電源功率	zui大100W 可自由調(diào)節(jié)
標(biāo)準(zhǔn)氣體輸入	1 x 氣路
額外氣體輸入	2 x 空管道可供升級(jí)
氣體流速控制	MFC自動(dòng)控制
zui大流速	100sccm
氣體流速控制精度	滿量程的1%
真空泵抽氣速率	80L/min
zui小真空	1 x 10^-3 Torr
真空測(cè)量范圍	大氣壓 ~ 5 x 10^-5 Torr
顯示	彩色觸摸屏，圖形化控制界面
操作員分級(jí)	2級(jí)操作人員分級(jí)
程序	可進(jìn)行半自動(dòng)控制和全自動(dòng)編程控制
參數(shù)存儲(chǔ)	zui大10組工藝參數(shù)儲(chǔ)存，每組工藝包含zui多10個(gè)工藝步驟

功能圖解

應(yīng)用系統(tǒng)

PDMS芯片制作

石墨烯，2D材料表面處理

Bio-MEMS

組織工程

食品科學(xué)

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