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SURAGUS EddyCus® TF膜厚面阻測(cè)試儀

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北京燕京電子有限公司

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產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

EddyCus® TF lab系列產(chǎn)品是一款適合實(shí)驗(yàn)室研發(fā)或成品檢測(cè)使用的面阻及膜厚實(shí)時(shí)測(cè)量?jī)x器。其應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，不僅適用于玻璃、硅、塑料基板上的導(dǎo)電性薄膜的面電阻和厚度的測(cè)量，同時(shí)也適用于多種單層膜材料厚度的實(shí)時(shí)測(cè)量。根據(jù)傳感器之間距離的不同，EddyCus TF lab可滿足不同的測(cè)試需求，傳感器標(biāo)準(zhǔn)距離為10mm，zui大距離可至60mm。

應(yīng)用領(lǐng)域：

·薄膜面電阻的測(cè)量

·薄膜厚度的測(cè)量

·導(dǎo)電性基板厚度的測(cè)量

·與電阻相關(guān)的其他參數(shù)的測(cè)量

技術(shù)特點(diǎn)：

·非接觸式實(shí)時(shí)測(cè)量

·可實(shí)現(xiàn)對(duì)幾乎所有平面樣品的測(cè)量

·測(cè)量傳感器與樣品之間的距離及測(cè)量點(diǎn)的大小可調(diào)

·掃頻范圍可達(dá)256個(gè)頻率點(diǎn)

·薄膜厚度測(cè)量可至納米量級(jí)

·操作簡(jiǎn)單，軟件功能豐富

技術(shù)指標(biāo)		EddyCus® TF lab-1	EddyCus® TF lab-2
傳感器之間距離		10mm	up to 60 mm possible
厚度測(cè)量范圍	高導(dǎo)電率材料 (大于 10 MS/m)	5 nm – 50 µm	5 nm – 100 µm
	低導(dǎo)電率材料 (小于 10 MS/m)	10 nm – 1 mm	10 nm – 250 µm
面阻測(cè)量范圍		0，01 – 1000 Ω/sq
導(dǎo)電率范圍		1– 67 MS/m
薄膜厚度測(cè)量精度		± 10% from <20 nm ± 5% from 20-200 nm ± 2，5% from 200nm– 1 µm ± 1% from > 1 µm
面電阻測(cè)量精度 (e.g. TCO)		± 2，5% from 0，01 – 20 Ω/sq ± 5% from 20 – 100 Ω/sq ± 10% from 100 – 1000 Ω/sq
傳感器		可根據(jù)不同應(yīng)用要求配置傳感器

相關(guān)產(chǎn)品：

EddyCus-TF lab 2020、

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EddyCus-TF map Hybrid

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