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儀器簡(jiǎn)介：

應(yīng)用：

◆半導(dǎo)體及相關(guān)領(lǐng)域。

技術(shù)參數(shù)：

E-Square公司致力于提供專業(yè)的電漿（Plasma）清洗解決方案，公司生產(chǎn)的常壓電漿清洗設(shè)備以其專業(yè)可靠的品質(zhì)贏得了市場(chǎng)的一致認(rèn)可。

主要特點(diǎn)：

◆無塵；

◆低溫處理(基板上升溫度:常溫~5℃)；

◆無傷害(與UV燈處理相同程度) ，已申請(qǐng)專利；

◆無靜電放電(處理后的ESD值為0~50V以內(nèi)，由于正、負(fù)離子的產(chǎn)生，故處理前不需要負(fù)離子空氣凈化器裝置)；

◆2年內(nèi)免維修(2年一次的點(diǎn)檢作業(yè))；

◆小型、重量輕；

◆裝置稼動(dòng)率99.5%以上；

◆反應(yīng)裝置的部分幾乎可**使用。