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EWave®雙極脈衝直流電系列

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新耕(上海)貿(mào)易有限公司

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產(chǎn)品介紹

E'Wave® 雙極脈衝直流電系列
Advanced Energy 的 E'Wave® 雙極脈衝直流電源改善了表面均勻性,減少了雙鑲嵌製程流程 (dual-damascene process flow, DDPF) 應(yīng)用的鍍銅階段之附加消耗,包括在生產(chǎn)環(huán)境和銅製程開(kāi)發(fā)中的晶圓電鍍。E'Wave 電源提供多達(dá)三個(gè)通道,每個(gè)都有一個(gè)獨(dú)立驅(qū)動(dòng)的雙極電源,能夠生成、儲(chǔ)存和運(yùn)行多達(dá)15個(gè)由電流控制或由電壓控制的波形。

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EWave®雙極脈衝直流電系列

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