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技術(shù)參數(shù)及要求：

基片尺寸： φ5-100mm圓片，*/大 100×100mm 2 方片

轉(zhuǎn)速： 500-8000轉(zhuǎn)/分

轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性： 1%

旋涂均勻性： 1

旋涂工藝階段： 2 段

旋涂時間：Ⅰ速0~18S，*/大（0~60S）；Ⅱ速0~60S，*/大（0~180S）

整機(jī)尺寸（ 長寬高 210 mm × 2 6 0 mm × 275 mm

裸機(jī)尺寸 長寬高 210 mm × 2 6 0 mm × 1 55mm

電機(jī)功率： 40W

適應(yīng)材料：硅片、玻璃、石英、金屬、 GaAs 、 GaN 、 InP 等各種材料

配套 無油真空泵參數(shù)：

型號： K W 550A/KW 550T

抽速： 1 .5 升 秒

功率： 3 20W

噪音： 50db

ZUI低真空度： 700mmHg

重量： 7.3 Kg

尺寸 長寬高 2 40mm40mm×160mm×230mm 抽氣速率： ：>60L/min