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俄羅斯Optosystem準分子激光器CL7000

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俄羅斯Optosystem準分子激光器CL7000

準分子激光器： CL7000，俄羅斯 Optosystem

準分子激光器是傳統(tǒng)的氣體激光器，由于波長短（紫外），短脈沖寬度，高脈沖能量，是激光器家族不可替代的品種！應(yīng)用上，準分子激光器在脈沖沉積鍍膜（PLD），光纖光柵刻寫，LASIK，光刻，微納加工等方面占主導的地位。

CL7000系列技術(shù)參數(shù)：

型號	ArF	KrF	XeCl
波長	193 nm	248 nm	308 nm
管材料	陶瓷
預(yù)電離	火花
標準脈沖能量	250 mJ	400 mJ	300 mJ
平均功率 CL 7020 CL7050 CL 7100	5 W 10 W 20 W	8 W 20 W 35 W	6 W 15 W 25 W
**重復(fù)頻率 CL 7020 CL 7050 CL 7100	20 Hz 50 Hz 100 Hz
脈寬	17 ns	20 ns	20 ns
脈沖穩(wěn)定度	sigma < 2%
光斑大小	6 x 20 mm	6 x 21 mm	7 x 22 mm
光束發(fā)散角	1.5 x 4.5 mrad
時間抖動	< 2 ns
尺寸， (重量)	1350L x 375W x 710H мм (170 kg)
冷卻 CL 7020 CL 7050 CL 7100	風冷水冷（水流< 1L/min）水冷（水流< 3L/min）
功率 CL 7020 CL 7050 CL 7100	220V / 50Hz， 10А，不超過1500 VA 220V / 50Hz， 10А，不超過 1800 VA 380/220V， 50Hz， 10А，不超過 3500 VA
氣體	1 premix cylinder
控制接口	RS 232， DOS/Windows

可選功能：

1 、1000Kz型號可選

2、窄線寬型號可選，線寬0.03cm-1

3、 F2，157nm型號可選

特點：

1、陶瓷放電激光腔設(shè)計，長壽命

2、激光腔，電子系統(tǒng)一體化設(shè)計

3、功率穩(wěn)定運行模式

4、預(yù)混合供氣，使用簡單

5、計算機控制

應(yīng)用：

1、準分子激光脈沖沉積鍍膜

2、準分子激光光柵光纖（FBG）刻寫

3、準分子激光材料加工，微納制造，光刻

準分子激光激光沉積鍍膜（PLD）系統(tǒng)示意圖

準分子激光器光纖光柵（FBG）刻寫原理圖

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