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日本JEOL，大功率電子槍/電源，EBG-300UA，JEBG1000UB，JEBG3000UB

JEBG系列大功率電子槍是在真空中蒸發(fā)或熔解金屬及氧化物的大功率電子束發(fā)生源，能在不斷輸送中的寬幅塑料和大面積玻璃基板上高速率地連續(xù)鍍膜，此外在電子束熔煉時，可用于高熔點金屬錠的生產(chǎn)及提純。

產(chǎn)品規(guī)格：

產(chǎn)品特點：

· JEBG系列大功率電子槍是在真空中蒸發(fā)或熔解金屬及氧化物的大功率電子束發(fā)生源，能在不斷輸送中的寬幅塑料和大面積玻璃基板上高速率地連續(xù)鍍膜，此外在電子束熔煉時，可用于高熔點金屬錠的生產(chǎn)及提純。

· 電子束能大范圍地快速掃描，通過專用の控制裝置和軟件，能生成各種電子束照射圖形和區(qū)域。由于能夠在各個照射位置上設(shè)定掃描、停留時間、輸出功率及電子束形狀，因而能夠控制熔融面和膜厚分布。

• 用途

· 真空蒸鍍

· 阻隔膜、保護(hù)膜、電極膜、導(dǎo)電膜、磁性膜等薄膜的形成。

· 真空熔解

· 生產(chǎn)和提煉Ti、Ta、Nb、 Mo等高熔點金屬錠。

· 提煉太陽能電池多晶硅