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日本YAMATO等離子清洗機PR200

直接聯(lián)系

浚和（上海）儀器有限公司

日本

產(chǎn)品規(guī)格型號

參考報價：

面議

關(guān)注度：

636

產(chǎn)品介紹

■ 操作性·功能

● 射頻13.56Mhz 0-200W高功率機型，發(fā)生器自動匹配，無需調(diào)節(jié)反射波，進一步增加的操作的便捷性。

● 標準配備數(shù)字式皮拉尼傳感器，實時顯示真空度，使得控制更為精確。

● 高硼硅玻璃腔體非常適合于實驗室處理比較純凈的精元、硅片等樣品，無需擔憂因為腔體材質(zhì)的原因?qū)е聵悠肥艿轿廴尽?/span>

■ 安全性·保護

● 裝載有溫度、壓力、等離子發(fā)生器異常等三層報警燈，可實時監(jiān)測和了解機器的運轉(zhuǎn)狀態(tài)。

● 裝載有過電流漏電保護開關(guān)、自診斷回路、異常時蜂鳴器報警等安全功能。

■ 產(chǎn)品優(yōu)勢

●等離子清洗機清洗效果好，清洗過程中無廢液產(chǎn)生，安全環(huán)保。

●幾乎所有的材質(zhì)樣品都可以進行等離子清洗。

●等離子清洗過程中，溫升很小，基本可達到常溫處理。

●高效的特制電極，保證等離子體能夠均勻產(chǎn)生。

規(guī)格：

型號		PR200	PR301
方式		DP模式、圓柱形腔體
性能	發(fā)生器功率：	0-200W	0-300W
	發(fā)生器頻率：	射頻RF13.56Mhz
	發(fā)生器匹配方式：	自動匹配（Auto matching)	手動匹配（manul）
構(gòu)成	腔體材質(zhì)：	高硼硅玻璃
	腔體內(nèi)尺寸：	φ100×L160mm		φ118×L160mm
	反應氣體：	一路工藝氣體，可支持氧氣、氬氣、氮氣等非腐蝕性氣體。
	控制方式：	半自動控制
	真空度顯示：	數(shù)字式皮拉尼傳感器，實時顯示腔體內(nèi)真空度。			模擬式壓力表
	配管材質(zhì)：	SUS不銹鋼以及特氟龍
	門：	鉸鏈門
	外形尺寸：	W350×D400×H500mm	W438×D520×H630mm
	真空泵抽速：	4m3/hour
	電源規(guī)格：	AC220V 10A
	重量：	約25kg			約34kg
附屬品		真空管件一套、真空轉(zhuǎn)接接頭一套、試料托盤一枚。

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