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>YAMATO等離子清洗機PR500

YAMATO等離子清洗機PR500

直接聯(lián)系

浚和（上海）儀器有限公司

日本

產品規(guī)格型號
參考報價：

面議

關注度：

621

產品介紹

低溫等離子·經(jīng)典桶型。

PR500：手動控制 PR510：自動觸摸屏控制

內槽

硅晶圓灰化狀態(tài)

低溫等離子的經(jīng)典款非常具有歷史性。采用自動協(xié)調功能

及觸摸屏操作（PR510），提高了操作性及安全性，是一款

小型緊湊型的等離子處理設備。

● 去除光刻膠

● 部品清洗

● 界面活性處理

● 微研磨

● 硅晶圓，玻璃基板對應

用途

● 大口徑（Φ215mm）石英反應腔

● 小型一體化設計

規(guī)格：

型號

PR500

PR510

等離子模式

DP模式，桶形

高頻輸出功率

Max500W

頻率

13.56MHz

同調方式

自動協(xié)調

反應腔

石英Φ215×305mm

反應氣體

2系統(tǒng)（O2／CF4）

控制

手動

觸模屏自動控制

配管材質

不銹鋼、特氟龍

外形尺寸

W438 x D520 x H760mm

參照規(guī)格書

重量

約60kg

參照規(guī)格書

電源

單相AC100V 9A

三相AC200V 8A

產品咨詢

YAMATO等離子清洗機PR500

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YAMATO等離子清洗機PR500 - 621
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