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儀器簡(jiǎn)介：

本儀器主要適用于掃描電子顯微鏡樣品鍍膜導(dǎo)電膜(金膜)，儀器操作簡(jiǎn)單方便，

是配合中小型掃描電子顯微鏡制樣必備的儀器。

技術(shù)參數(shù)：

1.靶（上部電極）：材料：金，直徑：50mm，厚度：0.1mm　純度：99.999%

2、真空室：直徑：160mm，高：110mm

3.樣品臺(tái)（下部電極）：濺射面積：直徑：50mm

4．工作真空： 2×10^-1—10^-1 mbar

5.離子電流表：**電流：50mA

6.計(jì)時(shí)器：根據(jù)濺射習(xí)慣設(shè)定單次濺射時(shí)間。

7.**電壓：-1600DVC

8.機(jī)械泵:2升/每秒

9.工作室工作媒介氣體：空氣或氬氣，

10．真空氣閥： 配有氬氣專用進(jìn)氣口和微量充氣調(diào)節(jié)，可連接φ4*2.5mm軟管。

主要特點(diǎn)：

輕便、濺射面積大

靶材可按用戶要求加工制作