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>YAMATO雅馬拓等離子清洗機YSP600U/2KU

YAMATO雅馬拓等離子清洗機YSP600U/2KU

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柜谷科技發(fā)展（上海）有限公司

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產(chǎn)品規(guī)格型號
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面議

關(guān)注度：

545

產(chǎn)品介紹

樣品傳輸系統(tǒng)為模塊式，便于組合

用途

● 提高各種材料的粘接性、表面改質(zhì)處理

● 清洗各類基板。

● 電子部品、材料表面改質(zhì)。

● 去除有機物和自然氧化膜。

特點

● 體積小，節(jié)省空間。

● 選用小型腔體，反應(yīng)效率高。

● 更容易嵌入生產(chǎn)線使用。

● 可通過操作面板自由切換等離子模式。

● 配備冷卻反應(yīng)臺。

內(nèi)槽

技術(shù)規(guī)格

型號

YSP600U

YSP2KU

模式

RIE（DP模式選購）

高頻輸功率

600W

2000W

反應(yīng)臺尺寸

W300×D300mm

W600×D600mm

反應(yīng)氣體

2進氣系統(tǒng)（氧氣、氬氣）

反應(yīng)氣體流量控制

質(zhì)量流量控制器

氣體導(dǎo)入口

反應(yīng)氣體2個、填充氣體1個、空氣1個

產(chǎn)品咨詢

YAMATO雅馬拓等離子清洗機YSP600U/2KU

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YAMATO雅馬拓等離子清洗機YSP600U/2KU - 545
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