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美國(guó)PE公司1980年就開(kāi)始致力于電子行業(yè)使用的等離子設(shè)備研發(fā)及相關(guān)服務(wù)， 至今已成為全美***的等離子系統(tǒng)解決方案專業(yè)供應(yīng)商， 其旗下PE系列， BT大尺寸系列，大氣壓系列， PCB專用系列， Roll-to-Roll系列的發(fā)展歷史已經(jīng)超過(guò)了30年， 廣泛應(yīng)用于全球各大小型生產(chǎn)及研發(fā)實(shí)驗(yàn)室， 全球超過(guò)8000套用戶。知名客戶如美國(guó)宇航局NASA， 波音Boeing， 霍尼韋爾Honeywell， 摩托羅拉Moto， 德國(guó)拜耳Bayer， 軍用飛機(jī)領(lǐng)軍企業(yè)洛克希德馬丁Lockheed-Martin， 及全美各大名校及科研院所如哈佛大學(xué)， 麻省理工， 萊斯大學(xué)， 橡樹(shù)嶺國(guó)家實(shí)驗(yàn)室等等。

美國(guó)PE擁有等離子技術(shù)領(lǐng)域里*頂尖的技術(shù)， 憑借著多年研發(fā)和突破性創(chuàng)新， 先已擁有了多項(xiàng)技術(shù)**， 如**的溫控技術(shù)和**的靜電屏蔽技術(shù)， 使其等離子設(shè)備能提供****的處理效率， 均勻性和可靠性， 其刻蝕清洗效率是市面上其他等離子設(shè)備的三倍以上。

PE-25，PE-50，PE-75，PE-100，PE-200臺(tái)式等離子表面處理設(shè)備是專門針對(duì)于大學(xué)，研究機(jī)構(gòu)和工廠研發(fā)設(shè)計(jì)的小批量樣品處理裝置， 性價(jià)比高，性能優(yōu)越，操作方便。

PE系列優(yōu)勢(shì)如下：

1. 真空腔室均采用航空特種鋁，研究表明采用這種特級(jí)鋁材的腔體材質(zhì)可以微調(diào)每個(gè)等離子體以保證整個(gè)處理過(guò)程的**均勻性。性能遠(yuǎn)優(yōu)于傳統(tǒng)石英，玻璃或不銹鋼腔室

2. 腔體一體成型，無(wú)焊接縫隙， 具有非常好的耐用性和整體穩(wěn)定性。

3. 電容平行板設(shè)計(jì)， **效*均勻的等離子體產(chǎn)生方式。 腔體與電極之間的間隙可到63mm至140mm，可以輕松將大尺寸不規(guī)則實(shí)驗(yàn)樣品放入腔體內(nèi)處理。

4. 操作簡(jiǎn)便， 面板的操作部分，非傳統(tǒng)按鈕旋鈕控制的設(shè)計(jì)使得操作控制更加便捷和避免人為誤操作。一般操作人員在極短的時(shí)間內(nèi)就可以熟練操作，只需要幾分鐘就可上手掌握。

5. 安全保障：在小型設(shè)備中，**引入一鍵急停保護(hù)按鈕，當(dāng)參數(shù)設(shè)置有誤而設(shè)備已經(jīng)啟動(dòng)的時(shí)候，可以快速終止實(shí)驗(yàn)，以*小程度降低因操作失誤而造成對(duì)樣品的損害。

6. **的粉體收集裝置，可以處理500~1000ML粉體

技術(shù)參數(shù)如下：

應(yīng)用領(lǐng)域如下：

目前設(shè)備廣泛應(yīng)用于：等離子清洗、刻蝕、改性、灰化、涂鍍和反應(yīng)離子刻蝕，在真空電子、LED、太陽(yáng)能光伏、集成電路、生命科學(xué)、半導(dǎo)體科研、半導(dǎo)體封裝、芯片制造、MEMS器件等領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用。

RIE系統(tǒng)刻蝕效果取決于氣體的流量，壓力和功率設(shè)置等方面。

我們?cè)O(shè)計(jì)和制造的反應(yīng)性離子蝕刻系統(tǒng)，可以滿足客戶的任何需要，且可以根據(jù)客戶的要求定制適合的等離子系統(tǒng)。我們的等離子處理系統(tǒng)，以提供快速，高品質(zhì)的蝕刻，低損傷，提供****的均勻性而著稱。

我們的等離子蝕刻機(jī)是理想的干蝕刻，目前正在采用的蝕刻：

半導(dǎo)體/集成電路

氮化鎵（甘）

氮化鋁鎵/氮化鎵（AlGaN/GaN）

砷化鎵/砷化鋁鎵（一般反避稅條款/ algaar）

砷化鎵（GaAs）

磷化銦、銦鋁砷/銦鎵砷化物（InP InGaAs/InAlAs）

硅（硅）

硅鍺（SiGe）

氮化硅陶瓷（Si3N4）

硅的溴化氫（sihbr）

硒化鋅（ZnSe）

金屬

鋁（鋁）

鉻（鉻）

鉑（鉑）

鉬（鉬）

鈮（鈮）

鉭（鉭）

鈦（Ti）

鎢（鎢）

電介質(zhì)

銦錫氧化物（ITO）

鋯鈦酸鉛（PZT）

碳化硅（碳化硅）

塑料/聚合物

聚四氟乙烯（PTFE）

聚甲醛（POM）

聚苯并咪唑（PBI）

聚醚醚酮（PEEK）

聚酰亞胺（聚酰亞胺）

聚酰胺（尼龍）

全氟烷氧基烷（PFA）

聚全氟乙丙烯（FEP）

聚烯烴

聚酯

失效分析