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>低溫灰化儀EMS1050

低溫灰化儀EMS1050

直接聯(lián)系

海德創(chuàng)業(yè)（北京）生物科技有限公司

美國(guó)

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
參考報(bào)價(jià)：

面議

關(guān)注度：

443

產(chǎn)品介紹

應(yīng)用領(lǐng)域：

  • 生物芯片領(lǐng)域

  • 醫(yī)用材料、光學(xué)材料研究

  • 電子半導(dǎo)體領(lǐng)域

  • 高分子材料研究

  • 電化學(xué)、高端零部件處理

  • 有機(jī)材料的灰化、刻蝕

儀器性能：

  • 自動(dòng)調(diào)頻高頻發(fā)生器

  • 內(nèi)置旋轉(zhuǎn)真空泵

  • 此系統(tǒng)通常使用氧及氬的混合氣體，氧去除有機(jī)物質(zhì)（碳?xì)浠衔铮瑲鍖?duì)樣品表面進(jìn)行刻蝕

  • 低溫等離子灰化、刻蝕、清洗 (0-150 watts RF)

  • 真空監(jiān)測(cè).

  • 雙重氣流針閥控制

  • 精確時(shí)間定時(shí)

  • 微處理器程序設(shè)置

  • LCD狀態(tài)數(shù)字顯示

  • 腔室為圓柱形，樣品裝載為抽屜式抽拉系統(tǒng)，樣本操作方便

  • 聚碳酸脂安全防護(hù)

技術(shù)參數(shù)：

整機(jī)尺寸

450mm(W)x350mm(D)x300mm(H)

工作腔室

派熱克斯玻璃 150mm(L)x100mm(Dia.)

(硼硅酸鹽玻璃為標(biāo)準(zhǔn)配置)

重量

25Kg

等離子體輸出

**150w，13.56 MHz 。

真空度

>ATM to 1 x 10-5mbar；通常 0.5 mbar to 1.0 mbar.

時(shí)間控制

*長(zhǎng)可設(shè)置99小時(shí)59分鐘

雙重氣流控制

雙重針閥氣流控制，可選1種或2種氣體（校準(zhǔn) 5-100cm3/min air at A.T.P)

電源

230 V， 50Hz (3 amp Max)

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低溫灰化儀EMS1050

海德創(chuàng)業(yè)（北京）生物科技有限公司

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