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自動(dòng)化薄膜厚度分布圖案系統(tǒng)

依靠 F54 先進(jìn)的光譜測(cè)量系統(tǒng)，可以很簡(jiǎn)單快速地獲得**直徑 450 毫米的樣品薄膜的厚度分布圖。采用 r-θ 極坐標(biāo)移動(dòng)平臺(tái)，可以非常快速的定位所需測(cè)試的點(diǎn)并測(cè)試厚度，測(cè)試非常快速，大約每秒能測(cè)試兩點(diǎn)。 系統(tǒng)中預(yù)設(shè)了許多極坐標(biāo)形、方形和線性的圖形模式，也可以編輯自己需要的測(cè)試點(diǎn)。只需掌握基本電腦技術(shù)便可在幾分鐘內(nèi)建立自己需要的圖形模式。

可測(cè)樣品膜層

基本上所有光滑的。非金屬的薄膜都可以測(cè)量?？蓽y(cè)樣品包括：

相關(guān)應(yīng)用

半導(dǎo)體制造

光刻膠 氧化物/氮化物/SOI 晶圓研磨減薄/封裝

液晶顯示器

盒厚 聚酰亞胺 ITO

光學(xué)鍍膜

硬涂層 抗反射涂層 濾光片

微電子

光刻膠 硅膜 氧化鋁/氧化鋅薄膜濾鏡

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