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進口德國BMT WLI Infra干涉儀

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佰匯興業(yè)(北京)科技有限公司

德國

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706

產(chǎn)品介紹

WLI Infra干涉儀

德國BMT WLI Infra干涉儀是用于硅薄膜的厚度測量設備。儀器適用于實驗室、車間和生產(chǎn)線上的質(zhì)量管理。測量頭提供**的重復性,設計堅固緊湊、免維護,適用于在線測量。

產(chǎn)品特點:

MEMS、硅梁、透明薄材料的非接觸高精度厚度測量;

納米級分辨率;

手動或自動測量步驟設計,簡單易用;

不受溫度變化和熱效應的影響;

**的重復性;

可配備表面輪廓測量。

技術(shù)參數(shù):

厚度分辨率(nm) <1

探針大小 (μm) 約150(可定制)

厚度范圍 (μm) 0.1-600

儀器尺寸 (mm) 320x320x380

重量 (kg) 120

晶圓夾具 定制,可達30cm

全自動測量

標準或定制的軟件包

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進口德國BMT WLI Infra干涉儀

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