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S500熱式質(zhì)量流量控制器能夠在較大的量程范圍內(nèi)在線實(shí)時(shí)地精確控制氣

流質(zhì)量流量。利用氣流流過(guò)不銹鋼毛細(xì)管，改變毛細(xì)管溫度分布，造成上下游溫

差方法，而測(cè)得氣體質(zhì)量流量；不同于測(cè)壓力或測(cè)體積方法等類別流量計(jì)，其流

量精度不受氣體壓力、環(huán)境溫度影響。上下游溫差測(cè)量電路信號(hào)實(shí)時(shí)反映氣流瞬

時(shí)流量，并通過(guò)PID電路實(shí)時(shí)控制比例電磁閥而精確控制流量，所以特別適用于過(guò)

程控制中在線實(shí)時(shí)的氣體流量的精確測(cè)量和控制。

☆具有流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應(yīng)速度快、過(guò)沖小等特點(diǎn)。

☆耐壓高及適用于真空條件下工作。氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。

氣阻較小，工作壓力范圍寬。

☆閥體采用不銹鋼（316L）結(jié)構(gòu)，氣密材料采用PTFE、氟橡膠等。耐腐蝕性強(qiáng)。

線路板、閥體、彈簧片、精密電阻和電容等為重要零部件，均執(zhí)行嚴(yán)格的入廠標(biāo)準(zhǔn)。

☆可任意角度安裝。

☆電氣操作控制顯示，使用方便。易于與電氣系統(tǒng)或自動(dòng)控制系統(tǒng)配合工作。

配合MT-50系列流量顯示儀，可對(duì)氣流的瞬時(shí)流量進(jìn)行精確測(cè)量和計(jì)量。

執(zhí)行Q/CYHMT0001-2014 企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)