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優(yōu)勢

? 準(zhǔn)確度采用設(shè)定點精度，產(chǎn)品精度可達(dá)±1.0% S.P.，響應(yīng)時間*快≤ 0.5sec。
? CS300系列產(chǎn)品可帶有壓力補償功能，對前段氣體壓力的擾動進行有效的補償，減少壓力變化對瞬時流量影響，從而保證產(chǎn)品工作的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。
? 采用的恒功率傳感器原理，在溫度變化時進行相應(yīng)的補償，從根本上抑制了流量計的零漂現(xiàn)象，保證了傳感器線性。
? 高端產(chǎn)品采用專門的金屬表面處理技術(shù)，與氣體接觸的表面金屬材料全部使用316LVV，CS300C產(chǎn)品金屬表面粗糙度更可達(dá)5RA以下，嚴(yán)格按照SEMI標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)制造。