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高真空存桿儀的極限真空度為10^-6mBar，為原位樣品臺(tái)提供高真空存放環(huán)境，可清潔樣品臺(tái)，避免樣品臺(tái)受到污染，尤其適用于原位樣品臺(tái)。各路存桿間相互獨(dú)立，支持隨存隨取，方便研究人員對(duì)不同樣品臺(tái)的切換，觸屏控制*多可實(shí)現(xiàn)六路樣品臺(tái)單獨(dú)存取。系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)真空度檢測(cè)及真空度智能維持及漏氣報(bào)警功能。

技術(shù)參數(shù)：

1)尺寸：L*W*H=465*405*385（單位：mm），以實(shí)物尺寸為準(zhǔn)。

2)壓力范圍：0-1000mbar。

3)存桿數(shù)量：四路、六路、十二路。

4)適用電鏡樣品臺(tái)：FEI、JEOL、Hitachi（適配）。

5)適用原位反應(yīng)艙芯片：自組裝鍵合一體式芯片，加熱芯片，納流體芯片等。

6)極限真空小于等于1×10^-6 mBar，工作的壓力范圍為10^-5~10^-2mBar。

7)接口模塊含控制閥門，以在電源關(guān)閉時(shí)保持真空狀態(tài)，或在取桿時(shí)，實(shí)現(xiàn)存桿模塊氣體通入，加速樣品臺(tái)取出過(guò)程。

8)各路存桿相互獨(dú)立，存或取桿時(shí)互不影響，支持隨存隨取。