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薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng)TF200

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沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司

遼寧

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產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：TF200薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng)利用薄膜干涉光學(xué)原理，對(duì)薄膜進(jìn)行厚度測(cè)量及分析。用從深紫外到近紅外可選配的寬光譜光源照射薄膜表面，探頭同位接收反射光線。TF200根據(jù)反射回來(lái)的干涉光，用反復(fù)校準(zhǔn)的算法快速反演計(jì)算出薄膜的厚度。測(cè)量范圍1nm-3mm，可同時(shí)完成多層膜厚的測(cè)試。對(duì)于100nm以上的薄膜，還可以測(cè)量n和k值。

產(chǎn)品型號(hào)	TF200-VIS	TF200-EXR	TF200-DUV	TF200-XNIR
主要特點(diǎn)	快速、準(zhǔn)確、無(wú)損、靈活、易用、性價(jià)比高
應(yīng)用領(lǐng)域	半導(dǎo)體（SiO2/SiNx、光刻膠、MEMS，SOI等） LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、聚亞酰胺ITO等) LED (SiO2、光刻膠ITO等）觸摸屏(ITO AR Coating反射/穿透率測(cè)試等) 汽車(防霧層、Hard Coating DLC等）醫(yī)學(xué)（聚對(duì)二甲苯涂層球囊/導(dǎo)尿管壁厚藥膜等）
波長(zhǎng)范圍	380-1050nm	380-1700nm	190-1100nm	900-1700nm
厚度范圍	50nm-40um	50nm-300um	1nm-30um	10um-3mm
準(zhǔn)確度（取決于材料0.4%或2nm之間取較大者）	2nm	2nm	1nm	10nm
精度	0.2nm	0.2nm	0.2nm	3nm
入射角	90°	90°	90°	90°
樣品材料	透明或半透明	透明或半透明	透明或半透明	透明或半透明
測(cè)量模式	反射/透射	反射/透射	反射/透射	反射/透射
光斑尺寸（可選微光斑附件。）	2mm	2mm	2mm	2mm
是否能在線	是	是	是	是
掃描選擇	XY可選	XY可選	XY可選	XY可選

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