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PCE-3等離子清洗機使用空氣、氧氣、氬氣等離子去除納米級有機物污染，在射頻電源的作用下，**去除速率為10nm/min。在單晶材料外延薄膜生長以前對其進行預(yù)處理，將對生長具有顯著的作用。

主要特點

1、使用可調(diào)射頻電源，可以設(shè)置低、中、高功率。

2、桌上型設(shè)備，結(jié)構(gòu)緊湊、操作安全、環(huán)境友好、低成本。

技術(shù)參數(shù)

1、輸入電壓：110V/220V、50Hz/60Hz （請?zhí)崆斑x定），小于100W

2、輸出功率：13.56MHz

3、等離子直流電源：低功率設(shè)定—680V，10mA，6.8W；中功率設(shè)定—700V，15mA，10.5W；

高功率設(shè)定—720V，25mA，18W

4、等離子腔室：Φ75mm×165mm，耐熱玻璃，前蓋可拆卸

5、通入氣體：可通入多種氣體，如N₂、Ar、空氣、混合氣體等，主要根據(jù)處理材料性質(zhì)所定

6、真空泵和閥的要求：>160L/min，極限壓力200mtorr（0.27mbar），可選擇數(shù)字真空表，針閥控制氣體流量，采用三通閥門 快速控制進氣、密封等離子腔室、排氣

清洗及蝕刻

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：200mm×250mm×210mm

重量：8kg（不含泵）

注意事項

不能使用可燃性氣體

可選配件

本司研發(fā)的電阻真空計

以Pirani電阻規(guī)在不同真空環(huán)境下提現(xiàn)的熱傳導(dǎo)性為原理而研發(fā)的一款低真空測量儀器，特別適應(yīng)于從常壓到0.1Pa非腐蝕性氣體環(huán)境的真空測量。