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產(chǎn)品型號

6″單溫區(qū)CVD真空管式爐GSL-1100X-6-S

本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：如作為CVD系統(tǒng)使用，需自備氣源（標準帶有寶塔接頭，可自費改制成為雙卡套接頭）

4、工作臺：尺寸1600mm×600mm×700mm，承重300kg以上

5、通風裝置：需要

主要特點

1、雙層殼體，配有循環(huán)風冷系統(tǒng)。爐體采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料，環(huán)保節(jié)能。殼體溫度<70℃。

2、采用不銹鋼真空密封法蘭，使用雙硅膠密封圈進行密封。

3、設(shè)有雙K型測溫熱電偶和一個額外的溫度校準檢測系統(tǒng)。

4、采用PID控制器，可以設(shè)置30段升降溫程序。

5、已通過CE認證。

技術(shù)參數(shù)

1、電源：AC220V8KW

2、石英管：內(nèi)徑?152mm，長1016mm

3、加熱元件：Ni-Cr-Al電阻絲

4、加熱區(qū)域：600mm

5、恒溫區(qū)域：200mm

6、工作溫度：≤1100℃，連續(xù)工作400℃-1000℃

7、升降溫速率：≤10℃/min

8、熱電偶：雙K型

9、控溫精度：±1℃

10、真空度：10^-2torr（機械泵），10^-5torr（分子泵）

11、鎧裝熱偶檢測口：1個

12、真空接口：KF40

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：1000mm×680mm×920mm；重量：250kg

標準配件

1

石英管

1根

2

氧化鋁管堵

2個

可選配件

1、軟件接口模塊和PC機

2、石英管

3、石英管堵

4、K型熱電偶（?6.35mm×915mm，用于對爐膛溫度校準）

5、真空泵