粉體行業(yè)在線展覽
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產(chǎn)品簡介:1100℃三溫區(qū)帶滑軌8.5″管式爐GSL-1100X-8.5-SR-III是三溫區(qū)滑軌真空管式爐,可通入混合氣體進(jìn)行低壓力化學(xué)氣相沉積處理。本機(jī)可在不同氣氛下,在≤6″的基片上生長多種薄膜。
控溫儀表操作視頻
產(chǎn)品型號 | 1100℃三溫區(qū)帶滑軌8.5″管式爐GSL-1100X-8.5-SR -III | ||
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:需要選配冷水機(jī) 2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地 3、氣:如作為CVD系統(tǒng)使用,需自備氣源(標(biāo)準(zhǔn)帶有寶塔接頭,可自費改制成為雙卡套接頭) 4、工作臺:尺寸1600mm×600mm×700mm,承重300kg以上 5、通風(fēng)裝置:需要 | ||
主要特點 | 1、爐體采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料,環(huán)保節(jié)能。內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口氧化鋁涂層,可以提高設(shè)備 的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命。 2、滑軌式法蘭結(jié)構(gòu),方便取放樣品。 3、設(shè)有雙K型測溫?zé)犭娕己鸵粋€額外的溫度校準(zhǔn)檢測系統(tǒng)。 4、三個加熱區(qū)域?qū)崿F(xiàn)更長的溫度區(qū)和一個特定的溫度梯度。 5、采用三個PID控制器,通過可控硅來進(jìn)行溫度控制,可以設(shè)置30段升降溫程序。 6、右端法蘭裝載石英管堵,用以阻止熱輻射;左端法蘭上設(shè)有4片磨砂石英擋片,用于阻止熱輻射。 7、已通過CE認(rèn)證。 | ||
技術(shù)參數(shù) | 1、電源:單相220V 8KW 2、石英管:外徑?216mm,內(nèi)徑?208mm,長1300mm 3、加熱元件:Ni-Cr-Al電阻絲 4、加熱區(qū)域:長900mm 5、溫區(qū):3個,各300mm長 6、恒溫區(qū)域:500mm(三個溫區(qū)設(shè)置一樣的溫度) 7、工作溫度:≤1100℃,連續(xù)工作400℃-1000℃ 8、升降溫速率:≤10℃/min 9、控溫精度:±1℃ 10、真空度:10-2torr(機(jī)械泵),10-5torr(分子泵) 11、熱偶檢測口:1個 12、真空接口:KF-25 13、進(jìn)氣接口:5路,精密不銹鋼針閥密封 14、爐體:1000mm×700mm×1060mm 15、滑軌:600mm | ||
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸:1780mm×1780mm×1650mm;重量:354kg | ||
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 1 | 石英管堵 | 1個 |
2 | KF-25真空擋板閥 | 1個 | |
3 | KF-40不銹鋼波紋管 | 1根 | |
可選配件 | 1、軟件接口模塊和PC機(jī) 2、K型熱電偶(?6.35mm×915mm,用于對爐膛溫度校準(zhǔn)) 3、冷水機(jī) |
定制5臺機(jī)連體配套
SEM5000X
防爆觸摸屏/防爆電腦/防爆電腦
金屬回收系統(tǒng)
熱風(fēng)循環(huán)烘箱CT-C系列
自動拆包機(jī)
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自動吸盤振動器離心式G08T
低溫催化LCO
干燥機(jī)控制
智能控制系統(tǒng)
PicoFemto掃描電鏡原位光電力一體化系統(tǒng)