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>1100℃三溫區(qū)帶滑軌8.5″管式爐

1100℃三溫區(qū)帶滑軌8.5″管式爐

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沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司

遼寧

產(chǎn)品規(guī)格型號
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357

產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品簡介:1100℃三溫區(qū)帶滑軌8.5管式爐GSL-1100X-8.5-SR-III是三溫區(qū)滑軌真空管式爐,可通入混合氣體進(jìn)行低壓力化學(xué)氣相沉積處理。本機(jī)可在不同氣氛下,在≤6″的基片上生長多種薄膜。

控溫儀表操作視頻

產(chǎn)品型號

1100℃三溫區(qū)帶滑軌8.5管式爐GSL-1100X-8.5-SR -III

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:需要選配冷水機(jī)

2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地

3、氣:如作為CVD系統(tǒng)使用,需自備氣源(標(biāo)準(zhǔn)帶有寶塔接頭,可自費改制成為雙卡套接頭)

4、工作臺:尺寸1600mm×600mm×700mm,承重300kg以上

5、通風(fēng)裝置:需要

主要特點

1、爐體采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料,環(huán)保節(jié)能。內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口氧化鋁涂層,可以提高設(shè)備

  的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命。

2、滑軌式法蘭結(jié)構(gòu),方便取放樣品。

3、設(shè)有雙K型測溫?zé)犭娕己鸵粋€額外的溫度校準(zhǔn)檢測系統(tǒng)。

4、三個加熱區(qū)域?qū)崿F(xiàn)更長的溫度區(qū)和一個特定的溫度梯度。

5、采用三個PID控制器,通過可控硅來進(jìn)行溫度控制,可以設(shè)置30段升降溫程序。

6、右端法蘭裝載石英管堵,用以阻止熱輻射;左端法蘭上設(shè)有4片磨砂石英擋片,用于阻止熱輻射。

7、已通過CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

1、電源:單相220V 8KW

2、石英管:外徑?216mm,內(nèi)徑?208mm,長1300mm

3、加熱元件:Ni-Cr-Al電阻絲

4、加熱區(qū)域:長900mm

5、溫區(qū):3個,各300mm

6、恒溫區(qū)域:500mm(三個溫區(qū)設(shè)置一樣的溫度)

7、工作溫度:≤1100℃,連續(xù)工作400-1000

8、升降溫速率:≤10/min

9、控溫精度:±1

10、真空度:10-2torr(機(jī)械泵),10-5torr(分子泵)

11、熱偶檢測口:1

12、真空接口:KF-25

13、進(jìn)氣接口:5路,精密不銹鋼針閥密封

14、爐體:1000mm×700mm×1060mm

15、滑軌:600mm

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸:1780mm×1780mm×1650mm;重量:354kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

石英管堵

1

2

KF-25真空擋板閥

1

3

KF-40不銹鋼波紋管

1

可選配件

1、軟件接口模塊和PC機(jī)

2、K型熱電偶?6.35mm×915mm,用于對爐膛溫度校準(zhǔn))

3、冷水機(jī)

產(chǎn)品咨詢

1100℃三溫區(qū)帶滑軌8.5″管式爐

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