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多通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)

直接聯(lián)系

沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司

遼寧

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)
參考報(bào)價(jià):

面議

關(guān)注度:

369

產(chǎn)品介紹

GSL-LCD是一款多路質(zhì)量流量計(jì)控制系統(tǒng),其質(zhì)量流量計(jì)和不銹鋼混氣罐都安裝在一個(gè)移動(dòng)柜里,移動(dòng)柜**可以承重1000Lbs所以在與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時(shí),可將管式爐置于移動(dòng)柜上以節(jié)約空間。各通道氣路的流量設(shè)定和狀態(tài)顯示都集中在一6"的觸摸屏上,同時(shí)可以實(shí)時(shí)查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。此款設(shè)備廣泛的用于材料界中CVD實(shí)驗(yàn)和各種材料的退火實(shí)驗(yàn)。

產(chǎn)品型號(hào)

GSL-LCD(控制面板為觸摸屏)

技術(shù)參數(shù)

功能

雙通道

三通道

四通道

五通道

質(zhì)子流量控制器

工作溫度:5~45oC

**壓力:3x106 Pa

精度: ±1.5% FS

線性: ±0.5-1.5%F.S.重復(fù)精度: ±0.2%F.S.

流量范圍:

一路:1~199 SCCM

二路:1~499 SCCM

注意:其他流量范圍的可定制,需額外費(fèi)用

工作溫度:5~45 oC

**壓力: 3x106 Pa

精度: ±1.5% FS

線性: ±0.5-1.5%F.S.

重復(fù)精度: ±0.2%F.S.

流量范圍:

一路: 0~100 SCCM

二路: 1~199 SCCM

三路: 1~499 SCCM

注意:其他流量范圍的可定制,需額外費(fèi)用

工作溫度: 5~45 oC

**壓力:3x106 Pa

精度: ±1.5% FS

線性: ±0.5-1.5%F.S.重復(fù)精度: ±0.2%F.S.

流量范圍:

一路: 0~100 SCCM

二路: 1~199 SCCM

三路: 1~199 SCCM

四路: 1~499 SCCM

注意:其他流量范圍的可定制,需額外費(fèi)用

工作溫度: 5~45 oC

**壓力: 3x106 Pa

精度: ±1.5% FS

線性: ±0.5-1.5%F.S.

重復(fù)精度: ±0.2%F.S.

流量范圍:

一路: 0~100 SCCM

二路: 1~199 SCCM

三路: 1~199 SCCM

四路: 1~499 SCCM

五-九路可按照客戶要求定制

產(chǎn)品規(guī)格

外形尺寸:600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)

輸入電源

AC 220V/50Hz單相

23W

PLC觸摸屏

各通道的氣路設(shè)定和查看都集中在一6"的觸摸屏上

RS485通訊接口和PC控溫軟件可以連接到電腦上,進(jìn)行遠(yuǎn)程控制

機(jī)械壓力表

有一機(jī)械壓力表安裝于前面板上,與混氣罐相連接

量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)

316不銹鋼

通氣管道

內(nèi)部連接管道為1/4”不銹鋼管

外部通氣管道為1/4”聚四氟管

混氣罐

Φ80X120mm

截止閥及配件

316不銹鋼針閥

Φ1/4”不銹鋼管

產(chǎn)品咨詢

多通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)

沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司

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多通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng) - 369
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