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產品型號

　精密液體氣相發(fā)生器

主要特點

1、流體和氣體在一個316不銹鋼罐中加熱。

2、采用30段程序化控溫。

3、氣體流速通過浮子流量計控制。

4、配有壓力表，可測出液氣混合罐中的氣體壓強。

5、配有兩個不銹鋼針閥，以控制氣體進出。

6、可與本司所有管式爐和CVD系統(tǒng)相連接。

7、已通過CE認證。

技術參數(shù)

1、電源：單相AC208V-240V 50Hz/60Hz

2、功率：1000W

3、蠕動泵：精確度±0.02%FS，流量0-80ml/min（可調）

4、**工作溫度：300℃

5、控溫精度：±1℃

6、浮子流量計：0-2000ml/min（可調）

7、出氣口：外徑1/4″

產品規(guī)格

　尺寸：350mm×335mm×300mm；重量：5kg

加熱帶（纏繞在外接的管道上，以保證液體蒸汽在傳輸過程中不會液化。）