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4"高真空RTP爐OTF-1200X-4-RTP-HV是一款精巧型快速熱處理管式爐,配有4"石英管及高真空系統(tǒng)(機(jī)械泵+分子泵),是專(zhuān)為半導(dǎo)體或太陽(yáng)能電池基片(**3")的退火而設(shè)計(jì)。本機(jī)采用10KW紅外燈管加熱,*快升溫速度為50℃/s,設(shè)有30段溫度控制,精度為±1℃。此外,通過(guò)RS485口和控制軟件可在計(jì)算機(jī)上實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)控制和溫度曲線顯示。
控溫儀表操作視頻
產(chǎn)品型號(hào) | 4″高真空RTP爐OTF-1200X-4-RTP-HV |
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(jī)(加注純凈水或者去離子水) 2、電:AC380V 50Hz(63A空氣開(kāi)關(guān)),必須有良好接地 3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(自帶6mm雙卡套接頭) 4、工作臺(tái):尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上 5、通風(fēng)裝置:需要 |
主要特點(diǎn) | 1、石英樣品架固定在滑動(dòng)法蘭上,使樣品裝載更加容易。 2、樣品架上放置76mm的AlN基片,承載需要退火的樣品。AIN具有很高的熱導(dǎo)率,可使樣品放置的區(qū)域有很好的溫度均勻性(±5℃)。 3、內(nèi)插式熱偶保證了溫度的準(zhǔn)確性。 4、采用PID自動(dòng)溫度控制,30段程序,并設(shè)有過(guò)熱和斷偶保護(hù)功能。 5、已通過(guò)CE認(rèn)證。 |
技術(shù)參數(shù) | 1、電源:爐體單相208V-240V,50Hz/60Hz,10KW 高真空系統(tǒng)AC110V/220V任意切換,50Hz/60Hz,110W 2、爐體結(jié)構(gòu):雙層莫來(lái)石鋼構(gòu) 3、石英管:外徑?110mm,內(nèi)徑?103mm,長(zhǎng)380mm 4、樣品架:76mm 5、加熱元件:8根紅外燈管,燈絲長(zhǎng)200mm,絲圈?10mm,燈長(zhǎng)300mm 6、加熱區(qū):102mm×305mm,均勻性±5℃ 7、熱偶:K型熱偶 8、溫度:**溫度1100℃,額定溫度1000℃,在1000℃-1100℃下保溫時(shí)間不得超過(guò)600s 9、控溫精度:±0.5℃ 10、*快升溫速度:RT-800℃內(nèi)50℃/s,800℃-1000℃內(nèi)10℃/s 11、高真空系統(tǒng)氣動(dòng)時(shí)間:2min 12、真空度:6.3×10-5mbar(在40min中) 13、真空法蘭:KF-D25,配有兩個(gè)高溫O型圈密封 14、流量計(jì):16ml/min-160ml/min 15、前級(jí)泵流速:在10mbar狀態(tài)下3.8L/min,50Hz;4.4L/min,60Hz |
產(chǎn)品規(guī)格 | 爐體:尺寸760mm×330mm×530mm,重量50kg 高真空系統(tǒng):尺寸:600mm×600mm×700mm,重量18kg |
產(chǎn)品咨詢(xún)
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