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產(chǎn)品型號

雙管滑動快速加熱冷卻爐OTF-1200X-4-C4LVS

本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機（加注純凈水或者去離子水）

2、電：AC380V 50Hz（63A空氣開關(guān)），必須有良好接地

3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（自帶?6mm雙卡套接頭）

4、工作臺：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上

5、通風(fēng)裝置：需要

主要特點

1、采用高純Al₂O₃保溫材料，保證了爐膛有極好的溫度均勻性，內(nèi)爐膛表面涂有進口高溫氧化鋁涂層，可以提高設(shè)備的加熱效率及延長儀器的使用壽命。

2、設(shè)有雙石英管，金屬箔纏繞在內(nèi)管的外表面上，以發(fā)生CVD反應(yīng)。

3、雙管的真空密封法蘭允許反應(yīng)氣體通過兩管之間（10mm間隙）發(fā)生反應(yīng)，冷卻氣體直接通入內(nèi)管。

4、配有四通道質(zhì)量流量計控制4路氣體，及采用KF25快接和波紋管連接的高速機械泵。

5、底部設(shè)有滑軌，爐子可以從一端滑向另一端，從而實現(xiàn)快速升溫和降溫。

6、樣品所在的位置每路氣路都有一個獨立的不銹鋼針閥控制。

技術(shù)參數(shù)

1、電源：單相208V-240V AC 50Hz/60Hz 2.5KW（20A保險絲）

2、石英管：外管外徑?100mm，內(nèi)徑?96mm，長1400mm

內(nèi)管外徑?80mm，內(nèi)徑?75mm，長1400mm

3、加熱區(qū)：440mm

4、恒溫區(qū)：120mm（雙溫區(qū)爐可獲得240mm）

5、工作溫度：**溫度1100℃，連續(xù)溫度1000℃

6、控溫精度：±1℃

7、升降溫速度：在使用前需要校正工作溫度、加熱效率、冷卻效率

8、真空度：10^-3torr（機械泵），10^-5torr（分子泵）

9、真空法蘭：SS304不銹鋼，配有兩個高溫O型圈密封

10、流量計：4路精密質(zhì)子流量計，氣體流量自動控制（數(shù)字顯示）

MFC1范圍0-100sccm MFC2范圍0-200sccm

MFC3范圍0-200sccm MFC4范圍0-500sccm

11、流量精度：0.2%

12、進出氣口：1/4"卡套

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：550mm×380mm×520mm；重量：138kg

可選配件

1、銅箔（150m×150mm×25μm，生長石墨烯用）

2、防腐型數(shù)字式真空顯示計