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雙管滑動快速加熱冷卻爐OTF-1200X-4-C4LVS是特殊的雙管CVD系統(tǒng),是專為在金屬箔上生長薄膜而設(shè)計的,特別適用于新一代能源——柔性金屬箔電極方面的研究。本機可通過滑動爐體,實現(xiàn)快速加熱和冷卻。
OTF-1200X-4-C4LVS雙管滑動快速加熱冷卻爐操作視頻 控溫儀表操作視頻
產(chǎn)品型號 | 雙管滑動快速加熱冷卻爐OTF-1200X-4-C4LVS |
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(加注純凈水或者去離子水) 2、電:AC380V 50Hz(63A空氣開關(guān)),必須有良好接地 3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(自帶?6mm雙卡套接頭) 4、工作臺:尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上 5、通風(fēng)裝置:需要 |
主要特點 | 1、采用高純Al2O3保溫材料,保證了爐膛有極好的溫度均勻性,內(nèi)爐膛表面涂有進口高溫氧化鋁涂層,可以提高設(shè)備的加熱效率及延長儀器的使用壽命。 2、設(shè)有雙石英管,金屬箔纏繞在內(nèi)管的外表面上,以發(fā)生CVD反應(yīng)。 3、雙管的真空密封法蘭允許反應(yīng)氣體通過兩管之間(10mm間隙)發(fā)生反應(yīng),冷卻氣體直接通入內(nèi)管。 4、配有四通道質(zhì)量流量計控制4路氣體,及采用KF25快接和波紋管連接的高速機械泵。 5、底部設(shè)有滑軌,爐子可以從一端滑向另一端,從而實現(xiàn)快速升溫和降溫。 6、樣品所在的位置每路氣路都有一個獨立的不銹鋼針閥控制。 |
技術(shù)參數(shù) | 1、電源:單相208V-240V AC 50Hz/60Hz 2.5KW(20A保險絲) 2、石英管:外管外徑?100mm,內(nèi)徑?96mm,長1400mm 內(nèi)管外徑?80mm,內(nèi)徑?75mm,長1400mm 3、加熱區(qū):440mm 4、恒溫區(qū):120mm(雙溫區(qū)爐可獲得240mm) 5、工作溫度:**溫度1100℃,連續(xù)溫度1000℃ 6、控溫精度:±1℃ 7、升降溫速度:在使用前需要校正工作溫度、加熱效率、冷卻效率 8、真空度:10-3torr(機械泵),10-5torr(分子泵) 9、真空法蘭:SS304不銹鋼,配有兩個高溫O型圈密封 10、流量計:4路精密質(zhì)子流量計,氣體流量自動控制(數(shù)字顯示) MFC1范圍0-100sccm MFC2范圍0-200sccm MFC3范圍0-200sccm MFC4范圍0-500sccm 11、流量精度:0.2% 12、進出氣口:1/4"卡套 |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸:550mm×380mm×520mm;重量:138kg |
可選配件 | 1、銅箔(150m×150mm×25μm,生長石墨烯用) 2、防腐型數(shù)字式真空顯示計 |
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