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產(chǎn)品簡(jiǎn)介:VTC-16-3HD3靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子薄膜濺射儀(直流普通型),控制面板采用觸摸屏模式,基片**尺寸2″,放置樣品的直徑為?50mm,加熱溫度達(dá)500℃。本機(jī)可濺射金、銀、銅三種靶材,并采用旋轉(zhuǎn)式樣品臺(tái),能夠依次在同一樣品上涂覆三層薄膜。
產(chǎn)品型號(hào) | VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀 |
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:不需要 2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地 3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度99.99%以上)清洗,需自備氬氣氣瓶 4、工作臺(tái):尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上 5、通風(fēng)裝置:需要 |
主要特點(diǎn) | 1、PLC控制面板,4.3″觸摸屏,PID控溫方式。 2、可控參數(shù)包括真空度、電流、靶材位置、基片加熱溫度。 3、可與真空泵、不銹鋼波紋管KFD25快速卸裝卡箍連用。 4、已通過(guò)CE認(rèn)證。 |
技術(shù)參數(shù) | 1、輸入功率:110V/220V通用 2000W(含真空泵) 2、輸出功率:1600VDC 50mA(**電流) 3、石英罩:?160mm×120mm 4、樣品臺(tái):?50mm(可選購(gòu)加熱型樣品臺(tái),**溫度可到500℃;*長(zhǎng)濺射時(shí)間不可超過(guò)5min) 5、真空泵:120L/M旋片式真空泵 6、進(jìn)氣口:裝有精密可調(diào)針閥,以實(shí)現(xiàn)方便的調(diào)節(jié)進(jìn)氣量 7、靶材:尺寸直徑?47mm,厚度0.1mm-3mm;可濺射Au、Ag、Pt、Cr、Ni,不可濺射氧化物、半導(dǎo)體、一些輕 金屬、Al、Zn、C等 |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸:360mm×350mm×3600mm;重量:50kg |
可選配件 | 1、KF25真空接口、卡箍 2、不銹鋼波紋管(600mm) 3、旋片式真空泵(120L/M) 4、鉑、銀、鋅等各種高純度金屬靶材 5、加熱型樣品臺(tái) |
定制5臺(tái)機(jī)連體配套
SEM5000X
防爆觸摸屏/防爆電腦/防爆電腦
金屬回收系統(tǒng)
熱風(fēng)循環(huán)烘箱CT-C系列
自動(dòng)拆包機(jī)
酒精回收塔
自動(dòng)吸盤振動(dòng)器離心式G08T
低溫催化LCO
干燥機(jī)控制
智能控制系統(tǒng)
PicoFemto掃描電鏡原位光電力一體化系統(tǒng)