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OTF-1200X-RTP-II近距離蒸發(fā)鍍膜（CSS）爐是一款快速蒸發(fā)管式爐，專(zhuān)門(mén)用于PVD或CSS法制作薄膜；其爐管外徑為11″，爐管內(nèi)載樣盤(pán)可放置3″ 的圓形或2″×2″的方形基片；加熱元件為兩組紅外燈管，分別安裝在腔體頂端和底部，升溫速率高達(dá)20℃/s ；溫控系統(tǒng)采用PID30段程序化控制，控溫精度為±1℃，并且儀器面板上帶有RS485接口，若儀表內(nèi)配有控溫軟件，就可將升溫程序和曲線導(dǎo)出。

主要特點(diǎn)

1、為了減小熱輻射和達(dá)到快速冷卻的效果，加熱元件被嵌在水冷機(jī)構(gòu)上。

2、緊貼頂部加熱元件上裝有一氮化鋁基片（Φ76mm×0.5mm），使得樣品基片上的溫度更加均勻。

3、3″的石墨坩堝可放于底部加熱元件上，用于盛放蒸發(fā)料。

4、真空法蘭通過(guò)兩個(gè)硅膠O型圈進(jìn)行密封，通過(guò)機(jī)械泵其腔內(nèi)真空度可達(dá)10^-2torr，通過(guò)分子泵真空度可達(dá)10^-5torr。

5、兩個(gè)真空法蘭都可以通過(guò)手動(dòng)操作進(jìn)行上下移動(dòng)。

6、一個(gè)數(shù)字式真空顯示計(jì)安裝在法蘭頂部，可以精確測(cè)量腔內(nèi)真空度。

技術(shù)參數(shù)

1、電源：?jiǎn)蜗?/span>AC208-240V（需20A的空氣開(kāi)關(guān)）

2、真空腔體：高純石英管，外徑280mm，內(nèi)徑275mm，高229mm

3、加熱元件：兩組IR紅外燈管，額定功率800W，總功率1600W

4、熱電偶：S型熱電偶2個(gè)，分別安裝于上下法蘭上

5、工作溫度：兩個(gè)加熱區(qū)域單獨(dú)工作的**溫度≤650℃，兩加熱區(qū)域**溫差≤350℃

6、加熱速率：>8℃/s

7、冷卻速率：>10℃/s（600℃-100℃）

8、真空法蘭：316不銹鋼制作，配有1個(gè)KF-25接口、2個(gè)1/4″軟管接頭

9、真空計(jì)：數(shù)字式真空顯示計(jì)

可選配件

1、PC控溫軟件

2、兩路混氣系統(tǒng)

3、多路浮子混氣系統(tǒng)

4、多路質(zhì)子混氣系統(tǒng)

5、真空泵

6、水冷機(jī)