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German First-Nano System 德國韋氏納米

美國

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產(chǎn)品介紹

AGS Plasma Systems， Inc.

Now Celebrating Our 25^thyear!

美國AGS成立于1991年，在等離子系統(tǒng)領(lǐng)域已有25年的歷程，是一家歷史悠久的等離子系統(tǒng)供應(yīng)商，提供的真空等離子系統(tǒng)主要應(yīng)用于圖案轉(zhuǎn)換中薄膜沉積，刻蝕，如微電子，MEMS，光伏，光電，納米科技等行業(yè)領(lǐng)域。

2012年Semicon West ，AGS公司推出一個新型的，桌面式 TT-150—RIE/CVD 系統(tǒng)，非常經(jīng)濟(jì)實(shí)用，對世界各地大學(xué)，研究所來說這樣如此特色的RIE和CVD應(yīng)用是非常**的。

模塊化的TT-150適合半導(dǎo)體MEMS，TFT，PV的2寸---6寸應(yīng)用。
AGS TT 等離子系統(tǒng)在一個平臺上提供了所有的功能特征
RIE，PECVD，和等離子刻蝕PE都能在一個易操作，低維護(hù)，實(shí)用簡單的平臺上實(shí)現(xiàn)，同時可以根據(jù)您的工藝要求升級您的需求
當(dāng)您需要更換工藝技術(shù)是，腔體的部件，材料，進(jìn)氣裝置提供更多的工藝擴(kuò)展
AGS依靠公司豐富的經(jīng)驗(yàn)為新工藝開發(fā)提供低成本的先進(jìn)的技術(shù)資源便于提前研發(fā)先進(jìn)的領(lǐng)域技術(shù)
桌面式，占地面積小，節(jié)省實(shí)驗(yàn)室空間
工藝控制簡單，易于使用者操作
兼容等離子刻蝕PE和PECVD，成本低

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