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德國Phsytech深能級瞬態(tài)譜 DLTS

我們在1990年推出了首臺數字DLTS，隨著電腦技術的發(fā)展，使得在短時間內進行復雜計算成為可能。在純指數發(fā)射過程模型的基礎上，用各種數學模型分析測量到的瞬態(tài)過程，如傅里葉轉換、拉普拉斯轉換、多指數瞬態(tài)擬合、ITS（等溫瞬態(tài)光譜）信號重疊法、溫度掃描信號重疊法（重折疊）。與其他系統(tǒng)相比，HERA-DLTS具有無法比擬的能量分辨率。

特點

l自動接觸檢查

l常規(guī)測試和加強軟件

l自動電容補償

l三終端FET電流瞬態(tài)測量

l大電容和濃度范圍

l靈活性高、模塊化硬件

l支持各種冷卻倉和溫度控制器

l傅里葉轉換（F-DLTS），比例窗口和用戶自定義校正功能

lDLTFS（深層瞬態(tài)傅里葉光譜儀）評價

l直接測量發(fā)射瞬態(tài)

l使用28個不同的相關功能（軟件）通過一次溫度掃描，給出28個溫度掃描信號

操作模式

lC-DLTS(電容模式)

lCC-DLTS(定電容模式)

lI-DLTS（電流模式）

lDD-DLTS（雙關聯(lián)模式）

lZerbst-DLTS

lO-DLTS（光激發(fā)模式）

lFET-Analysis

lMOS-Analysis

lITS（等溫瞬態(tài)光譜儀）

l缺陷分析

l俘獲截面測量

lI/V， I/V(T)查理森Plot分析

lC/V， C/V(T)

lTSC/TSCAP

lPITS（光子誘導瞬態(tài)譜）

lDLOS(特殊系統(tǒng))