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農(nóng)業(yè)和食品專用儀器
危險化學(xué)品檢測專用儀器
藥物檢測專用儀器
面議
899
Veeco(之前稱之為Cambridge Nanotech)已經(jīng)有15年以上的ALD研發(fā)生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)。2003年Cambridge Nanotech成立于哈佛大學(xué),05年搬到Boston并生產(chǎn)出Thermal ALD - Savannah, 之后生產(chǎn)出Plasam ALD - Fuji、批量生產(chǎn)ALD-Phoenix。2017年被Veeco收購,并更新了Batch HVM ALD - Firebird。至今為止,Veeco在ALD設(shè)備已有15年多的經(jīng)驗(yàn),全球已安裝五百多臺ALD設(shè)備。
方式: Thermal batch ALD
優(yōu)勢:完全自動化的批量生產(chǎn)系統(tǒng),*強(qiáng)生產(chǎn)能力(每月*多40000片),成本低,產(chǎn)量高,極優(yōu)的一致性針對脆弱/溫度敏感的襯底解決方案,包括LNO/LTO/玻璃模塊化熱管理,以實(shí)現(xiàn)*強(qiáng)工藝靈活性和產(chǎn)量
薄膜: 氧化物薄膜,包含封裝層、光學(xué)涂層氧化物薄膜,包含封裝層、光學(xué)涂層
反應(yīng)腔體大小: 無縫晶片尺寸轉(zhuǎn)換能力高達(dá)300mm
定制5臺機(jī)連體配套
SEM5000X
防爆觸摸屏/防爆電腦/防爆電腦
金屬回收系統(tǒng)
熱風(fēng)循環(huán)烘箱CT-C系列
自動拆包機(jī)
酒精回收塔
自動吸盤振動器離心式G08T
低溫催化LCO
干燥機(jī)控制
智能控制系統(tǒng)
PicoFemto掃描電鏡原位光電力一體化系統(tǒng)