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噴金儀

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廣州競(jìng)贏化工科技有限公司

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1444

產(chǎn)品介紹

108auto噴金儀是一款結(jié)構(gòu)緊湊的桌上型鍍膜系統(tǒng)，特別適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜。

主要特性

技術(shù)參數(shù)

濺射系統(tǒng)
樣品室大小	直徑120mm x 120mm 高
靶材	Au 靶為標(biāo)配， Au:Pd， Pt， Pt:Pd （選件）; 規(guī)格：直徑57mm x 0.1mm厚
樣品臺(tái)	可以裝載12個(gè)SEM樣品座，高度可調(diào)范圍為60mm
濺射控制	微處理器控制，安全互鎖
濺射電流	微處理器控制，安全互鎖，可調(diào)，**電流40mA，程序化數(shù)字控制
濺射頭	低電壓平面磁控管，靶材更換快速，環(huán)繞暗區(qū)護(hù)罩
計(jì)量表	真空： Atm - 0.001mbar，電流：0~50mA
厚度監(jiān)控 (選件)	使用高分辨厚度監(jiān)控儀（選件）精確測(cè)定所鍍膜的厚度
控制方法	具有氣體換氣和泄氣功能，帶有“暫?！笨刂频臄?shù)字定時(shí)器（5－300s）
真空系統(tǒng)
真空泵	2級(jí)直連式高速真空泵
抽氣速率	100L/MIN
極限真空	≤1 x 10^-3Torr
噪音	50dB

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噴金儀

廣州競(jìng)贏化工科技有限公司

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