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DM-8000微波等離子體CVD設(shè)備

直接聯(lián)系

成都紐曼和瑞微波技術(shù)有限公司

四川

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

參考報(bào)價(jià)：

面議

品牌：

和瑞微波

型號(hào)：

DM-8000微波等離子體CVD設(shè)備

關(guān)注度：

506

產(chǎn)品介紹

> 超潔凈級(jí)的真空系統(tǒng)

> 全進(jìn)口的集成化供氣系統(tǒng)

> 樣品臺(tái)冷卻系統(tǒng)采用Duel-Loop控制

> 自動(dòng)化的工藝生長(zhǎng)控制系統(tǒng)

> 在線視覺檢測(cè)功能

（1）	型號(hào)	DM-8000
（2）	電源	AC380 V 三相五線制 50Hz，
（3）	微波輸出功率	8kW ，2450MHz點(diǎn)頻
（4）	微波泄露	≤2mW/cm3@5cm
（5）	功率穩(wěn)定度	1 %（@穩(wěn)態(tài)）
（6）	有效沉積區(qū)域	up to Φ 70 mm
（7）	樣品臺(tái)直徑	Φ120 mm
（8）	極限真空度	≤5 ×1 0-1 P a
（9）	真空漏率	＜1x10-9Pa.m3/s
（10）	單晶生長(zhǎng)	生長(zhǎng)速度10-15μm/H，單輪生長(zhǎng)厚度≥1.6mm
（11）	單晶質(zhì)量	色度H，肉眼無瑕疵
（12）	氣體種類	標(biāo)配四路MFC：H2:1000sccm，CH4:100sccm，O2:10sccm，N2:5sccm；可擴(kuò)展為5路
（13）	壓強(qiáng)控制范圍	5-225 torr
（14）	壓強(qiáng)控制精度	±0 . 1 T o r r
（15）	冷卻水	＞65L/Min

產(chǎn)品咨詢

DM-8000微波等離子體CVD設(shè)備

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