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單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)
面議
科冪
單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)
306
高性能射頻電源.等離子體更穩(wěn)定;
滑軌式結(jié)構(gòu)能使整個(gè)反應(yīng)腔室都處于輝光產(chǎn)生區(qū);
可實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫功能;與傳統(tǒng)CVD相比較,生長(zhǎng)溫度更低。
項(xiàng)目 | 型號(hào) | TFE - 1200 - 50 - 220 |
**溫度 | 1150℃(短期) | |
額定溫度 | 1100℃ | |
推薦升溫速率 | ≤10℃/min | |
控制精度 | ±1℃ | |
爐管尺寸 | Φ30/50/60*1200mm | |
爐膛尺寸 | Φ80*220mm | |
加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 220mm | |
恒溫區(qū)長(zhǎng)度 | 80mm | |
加熱元件 | 優(yōu)質(zhì)國(guó)產(chǎn)電阻絲 | |
額定功率 | 3KW | |
供氣系統(tǒng) | 三路高精度MFC 量程0-500sccm(可定制) | |
射頻電源 | 射頻功:5-500W; 射頻頻:13.56MHz; 匹配方式:自動(dòng)匹配 | |
真空系統(tǒng) | 雙級(jí)旋片真空泵(可定制擴(kuò)散泵 分子泵等) | |
外形尺寸 | 1250*510*810mm |
CFRD
MSL
MA
MSI100-P5-T3
NSI智能型快開(kāi)式磁力攪拌反應(yīng)釜
NV系列光催化攪拌反應(yīng)釜
MSP遠(yuǎn)程智能微型機(jī)械攪拌反應(yīng)釜
MV系列對(duì)視窗攪拌反應(yīng)釜
NVG光催化攪拌反應(yīng)釜
六聯(lián)平行反應(yīng)釜
MVG對(duì)視窗機(jī)械反應(yīng)釜
六阱反應(yīng)釜
定制5臺(tái)機(jī)連體配套
SEM5000X
防爆觸摸屏/防爆電腦/防爆電腦
金屬回收系統(tǒng)
熱風(fēng)循環(huán)烘箱CT-C系列
自動(dòng)拆包機(jī)
酒精回收塔
自動(dòng)吸盤振動(dòng)器離心式G08T
低溫催化LCO
干燥機(jī)控制
智能控制系統(tǒng)
PicoFemto掃描電鏡原位光電力一體化系統(tǒng)